无锡先为科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡先为科技有限公司申请的专利成膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223458394U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422943381.9,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型成膜装置是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本成膜装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种成膜装置,属于成膜设备技术领域,本申请的成膜装置,包括:反应容器,具有腔体壁及位于腔体壁内的反应腔,腔体壁包括面向反应腔并相对设置的内顶壁和内底壁及连接内顶壁和内底壁的侧壁;基座,水平设置于反应腔内,基座包括载物面和导热面,导热面环绕载物面设置;加热组件;冷却组件;保温内壁,环绕基座设置;本申请通过保温内壁阻挡住导热面的热辐射,由于保温内壁的特性,导热面至侧壁的热量传递速度减缓,从而使得载物面保持稳定温差梯度以及均匀的温度分布,提升膜层生长的良率。
本实用新型成膜装置在权利要求书中公布了:1.一种成膜装置,其特征在于,包括: 反应容器1,具有腔体壁及位于所述腔体壁内的反应腔10,所述腔体壁包括面向所述反应腔10并相对设置的内顶壁122和内底壁111及连接所述内顶壁122和所述内底壁111的侧壁112; 基座2,水平设置于所述反应腔10内,所述基座2包括载物面21和导热面22,所述载物面21水平延伸,所述导热面22配置为所述基座2在水平方向上的端面,所述导热面22环绕所述载物面21设置; 加热组件8,用于对所述基座2加热; 冷却组件,用于对所述侧壁112冷却; 保温内壁3,环绕所述基座2设置,在水平方向上,所述导热面22和所述侧壁112间隔所述保温内壁3设置,在上下方向上,所述基座2与所述内顶壁122或所述内底壁111之间不设置所述保温内壁3。
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