江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司梁德富获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司申请的专利喷淋结构以及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223458395U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423000006.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型喷淋结构以及镀膜设备是由梁德富;林佳继设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷淋结构以及镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种喷淋结构和镀膜设备，涉及半导体设备领域，解决了工艺腔室内载台外周清洁效果较差、整体清洁不够均匀以及喷淋结构损坏更换周期短的技术问题。该喷淋结构应用于镀膜设备，镀膜设备包括工艺腔体和至少一个第一进气管，工艺腔体具有工艺腔室，至少一个第一进气管伸入至工艺腔室的上方，第一进气管被配置为向工艺腔室输送清洁气体；其中，喷淋结构包括：主体，主体的上部的侧壁与主体沿第一方向的中心线之间的距离由上至下逐渐增加，主体的上部的侧壁位于第一进气管的下方，从而能够使第一进气管喷出的第一部分清洁气体在碰到主体的上部的侧壁后，能够被主体的上部的侧壁导向至工艺腔室的顶部，从而将工艺腔室的顶部清洁干净。
本实用新型喷淋结构以及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种喷淋结构，其特征在于，应用于镀膜设备，所述镀膜设备包括工艺腔体和至少一个第一进气管，所述工艺腔体具有工艺腔室，至少一个所述第一进气管伸入至所述工艺腔室的上方，所述第一进气管被配置为向所述工艺腔室输送清洁气体； 其中，所述喷淋结构包括： 主体，所述主体沿第一方向延伸，所述主体的上部的侧壁与所述主体沿所述第一方向的中心线之间的距离由上至下逐渐增加，所述主体的上部的侧壁位于所述第一进气管的下方，以使所述主体的上部的侧壁能够将所述第一进气管输送的第一部分所述清洁气体导向至所述工艺腔室的顶部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市锡山区锡北东青河路3号4#楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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