湖南二零八先进科技有限公司王飞获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南二零八先进科技有限公司申请的专利一种半球谐振子锚柱掩膜治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223458405U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422867069.6，技术领域涉及：C23F1/02；该实用新型一种半球谐振子锚柱掩膜治具是由王飞;卢广锋;王凡;银浩设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半球谐振子锚柱掩膜治具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半球谐振子锚柱掩膜治具，包括：掩膜座和掩膜杆，所述掩膜座侧壁开设有掩膜孔，掩膜孔与半球谐振子的外锚柱匹配，掩膜杆朝向掩膜座的壁面上设有掩膜筒，掩膜筒内孔与半球谐振子的内锚柱匹配，掩膜筒能够伸入半球谐振子的球壳内，掩膜孔的孔口设有防止液体进入掩膜孔内的第一密封件，掩膜筒的筒口设有防止液体进入掩膜筒的第二密封件。本实用新型能够将半球谐振子锚柱与球壳完全隔离，从而实现对半球谐振子锚柱的无损伤、无污染的保护。成功保护后，治具能够在化学蚀刻、测试或其他后续工艺处理中保护半球谐振子锚柱，满足与底部电极的高标准装配和导通要求。
本实用新型一种半球谐振子锚柱掩膜治具在权利要求书中公布了：1.一种半球谐振子锚柱掩膜治具，其特征在于，包括：掩膜座3和掩膜杆4，所述掩膜座3侧壁开设有掩膜孔31，掩膜孔31与半球谐振子5的外锚柱51匹配，掩膜杆4朝向掩膜座3的壁面上设有掩膜筒41，掩膜筒41内孔与半球谐振子5的内锚柱52匹配，掩膜筒41能够伸入半球谐振子5的球壳内，掩膜孔31的孔口设有防止液体进入掩膜孔31内的第一密封件6，掩膜筒41的筒口设有防止液体进入掩膜筒41的第二密封件7。
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