东莞市晟鼎精密仪器有限公司莫国健获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市晟鼎精密仪器有限公司申请的专利一种快速退火炉多层晶圆冷却装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223458441U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422661397.0，技术领域涉及：C30B33/02；该实用新型一种快速退火炉多层晶圆冷却装置是由莫国健;黄嘉伦;侯振健设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种快速退火炉多层晶圆冷却装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种快速退火炉多层晶圆冷却装置，属于晶圆冷却装置技术领域，包括底板，底板顶部的两侧均固定连接有吹气板，两组吹气板的顶部均设置有进气组件；本实用新型通过滑动连接组件的设置，可以将多组安装板安装固定在两组吹气板的内侧，以实现一次性对多组晶圆本体进行冷却的目的，通过支撑组件的设置，可以将晶圆本体稳定支撑在安装板的上方，对晶圆本体进行固定后，可以通过进气组件向吹气板的内部通入冷却用气，并通过吹气孔向晶圆本体的表面吹射，以对晶圆本体进行冷却处理，通过本装置的设置，具备单次可进行多层晶圆冷却工作，用以解决现有技术存在生产效率低、结构复杂、成本较高、运行不稳定等问题的优点。
本实用新型一种快速退火炉多层晶圆冷却装置在权利要求书中公布了：1.一种快速退火炉多层晶圆冷却装置，包括底板1，其特征在于：所述底板1顶部的两侧均固定连接有吹气板2，两组所述吹气板2的顶部均设置有进气组件，两组所述进气组件之间通过定位组件连接固定在一起，两组所述吹气板2的内侧设置有若干组安装板3，所述安装板3的两侧均通过滑动连接组件可拆卸地安装于两组所述吹气板2的内侧，所述安装板3的顶部设置有待冷却的晶圆本体4，所述安装板3的顶部且位于晶圆本体4的下方安装有用于对晶圆本体4进行支撑的支撑组件，所述安装板3的顶部且位于晶圆本体4的下方安装有感应器5。
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