东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司许鸿亮获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利电子束检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223460993U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423076661.0，技术领域涉及：G01B11/00；该实用新型电子束检测设备是由许鸿亮;米涛;张禧晨;张之光设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子束检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体检测领域，特别是涉及一种电子束检测设备。本实用新型旨在解决现有平移台在一行程方向上布置两个激光干涉仪来完成全行程位置测量信息反馈而导致测量数据精度低的问题。为此，通过使第一干涉仪沿预设平面的第一探测方向发出探测激光，分光组件设置于探测激光的光路上，使得探测激光被分成多束平行间隔且沿第二探测方向发射的分束激光，其中第二探测方向为预设平面内与第一探测方向相垂直的方向。当平移台运动至超出一束分束激光的测量行程，即进入其他分束激光的测量范围，从而满足了平移台在第一探测方向上的全行程位置信息测量反馈，并且基于分束激光测量使测量准确度提升。本实用新型解决了上述技术问题。
本实用新型电子束检测设备在权利要求书中公布了：1.一种电子束检测设备，其特征在于，包括： 电子束成像模块，配置成用于向待测样品表面投射入射电子束并生成电子束图像； 平移台，用于放置所述待测样品，并且配置成带动所述待测样品在预设平面内平移； 第一干涉仪，配置成沿所述预设平面的第一探测方向发出探测激光； 分光组件，设置于所述探测激光的光路上，并配置成将所述探测激光分成多束平行间隔且沿第二探测方向发射的分束激光，并且所述第二探测方向为所述预设平面内与所述第一探测方向相垂直的方向。
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