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龙图腾网获悉广东长信精密设备有限公司申请的专利一种晶圆轮廓测量机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223461003U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422861178.7，技术领域涉及：G01B11/24；该实用新型一种晶圆轮廓测量机构是由赵果;吴伟平;邹展设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆轮廓测量机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆检测领域，公开了一种晶圆轮廓测量机构，包括检测平台，检测平台设有边缘测量组件、槽口测量组件、直径测量组件、厚度测量组件及驱动组件：驱动组件包括驱动电机、滑轨模组以及测量底板；边缘测量组件包括第一相机机构和第一光源机构；槽口测量组件包括第二相机机构、第二光源机构以及第一位移台；直径测量组件包括光源发射机构、光源接收机构以及第二位移台；厚度测量组件包括第一传感机构、第二传感机构以及第三位移台；本实用新型将多个测量组件集中在一起，提高了晶圆检测的效率和准确率。

本实用新型一种晶圆轮廓测量机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆轮廓测量机构，包括检测平台以及两两垂直相交的第一方向、第二方向及第三方向，其特征在于，所述检测平台设有边缘测量组件、槽口测量组件、直径测量组件、厚度测量组件及驱动组件： 所述驱动组件包括驱动电机、滑轨模组以及测量底板，所述滑轨模组沿第一方向延伸设置于检测平台，所述驱动电机与所述测量底板连接并驱动所述测量底板沿所述滑轨模组移动； 所述边缘测量组件包括第一相机机构和第一光源机构，所述第一相机机构与所述第一光源机构沿第一方向相对设置，且均沿第二方向设置于所述滑轨模组一侧的检测平台； 所述槽口测量组件包括第二相机机构、第二光源机构以及第一位移台，所述第一位移台固定于所述测量底板，所述第二光源机构和所述第二相机机构沿第三方向相对设置，且均沿第三方向滑动设置于所述第一位移台靠近所述边缘测量组件的侧面； 所述直径测量组件包括光源发射机构、光源接收机构以及第二位移台，所述第二位移台固定于所述测量底板，所述光源接收机构及所述光源发射机构沿第三方向相对设置，且沿第三方向均滑动设置于所述第二位移台靠近所述边缘测量组件的侧面； 所述厚度测量组件包括第一传感机构、第二传感机构以及第三位移台，所述第三位移台固定于所述测量底板，所述第二传感机构和所述第一传感机构沿第三方向相对设置，且均沿第三方向滑动设置于所述第三位移台靠近所述边缘测量组件的侧面。

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