武汉楚兴技术有限公司彭凯获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉楚兴技术有限公司申请的专利离子发生器及离子注入装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223462194U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422886207.5,技术领域涉及:H01J37/08;该实用新型离子发生器及离子注入装置是由彭凯设计研发完成,并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子发生器及离子注入装置在说明书摘要公布了:本公开实施例提供一种离子发生器及离子注入装置,涉及半导体技术领域,以解决相关技术中离子发生器的气体分子离化率较低,离子的生产成本较高的问题。该离子发生器包括壳体、第一阴极、第二阴极、第一灯丝、第二灯丝和第一电场调节件。壳体包括电弧室,第二阴极与第一阴极相对设置于电弧室的两侧,第一灯丝设置于第一阴极远离第二阴极的一侧,第二灯丝设置于第二阴极远离第一阴极的一侧。第一电场调节件设置于电弧室内,且与壳体连接。第一电场调节件被配置为,使电弧室内的电场靠近电弧室的中心分布。该离子发生器用于离子注入装置。
本实用新型离子发生器及离子注入装置在权利要求书中公布了:1.一种离子发生器,其特征在于,包括: 壳体,包括电弧室; 第一阴极; 第二阴极,与所述第一阴极相对设置于所述电弧室的两侧; 第一灯丝,设置于所述第一阴极远离所述第二阴极的一侧; 第二灯丝,设置于所述第二阴极远离所述第一阴极的一侧; 第一电场调节件,设置于所述电弧室内,且与所述壳体连接;所述第一电场调节件被配置为,使所述电弧室内的电场靠近所述电弧室的中心分布。
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