广东凯迪微智能装备有限公司江永获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉广东凯迪微智能装备有限公司申请的专利一种刻蚀均匀的BOE刻蚀装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223462202U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423002174.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种刻蚀均匀的BOE刻蚀装置是由江永;熊伟设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀均匀的BOE刻蚀装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了半导体清洗工艺领域的一种刻蚀均匀的BOE刻蚀装置，包括槽体和夹持机构，槽体包括外槽和内槽，外槽与内槽设有导通的通孔，内槽的底部通过支撑件安装有悬空固定的均流板，均流板设于通孔的上方，均流板开设有多个导通的流孔，均流板安装有用于限位的限位块，限位块的内侧设有倾斜面，夹持机构包括吊臂件和用于装放硅片的治具，治具底部连接有卡入限位块固定的卡塞，治具连接吊臂件的一端，治具可移动至内槽底部并通过限位块固定，吊臂件还连接有用于调节吊臂件倾斜度的调节组件，使卡塞倾斜后紧贴一侧的倾斜面。通过均流板上的流孔分流，有效保持内槽内的温度和流量均匀性，可摆动的治具可以改善硅片正面接触导致刻蚀不均匀的状态。
本实用新型一种刻蚀均匀的BOE刻蚀装置在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀均匀的BOE刻蚀装置，包括槽体和夹持机构，所述夹持机构用于将硅片送往槽体内刻蚀，其特征在于：所述槽体包括外槽和内槽，所述外槽与内槽设有导通的通孔，所述内槽的底部通过支撑件安装有悬空固定的均流板，所述均流板设于通孔的上方，所述均流板开设有多个导通的流孔，所述均流板安装有用于限位的限位块，所述限位块的内侧设有倾斜面，所述夹持机构包括吊臂件和用于装放硅片的治具，所述治具底部连接有卡入限位块固定的卡塞，所述治具连接吊臂件的一端，所述治具可移动至内槽底部并通过限位块固定，所述吊臂件远离治具的一端连接有用于摆动吊臂件的摆动电机，所述吊臂件还连接有用于调节吊臂件倾斜度的调节组件，使卡塞倾斜后紧贴一侧的倾斜面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东凯迪微智能装备有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市大朗镇大朗富通路330号6栋302室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励