香港科技大学(广州)徐巍获国家专利权
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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利一种带壁挂式烘干的湿法台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223462203U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202522004020.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种带壁挂式烘干的湿法台是由徐巍;李艺杰设计研发完成，并于2025-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带壁挂式烘干的湿法台在说明书摘要公布了：本申请公开了一种带壁挂式烘干的湿法台，涉及半导体加工技术领域，包括湿法台本体以及烘干装置；湿法台本体具有作业腔室；作业腔室底部设有刻蚀槽；作业腔室内安装有移料机器人；烘干装置安装于作业腔室的侧面；移料机器人用于将工件移送至刻蚀槽中以进行刻蚀；移料机器人还用于将刻蚀槽中的工件移送至烘干装置中以进行烘干。通过将烘干装置安装在作业腔室的侧面，采用壁挂式设计，有效避免了烘干装置与刻蚀槽在同一水平面分布所带来的空间占用问题。这种垂直空间的利用方式能够在不增加机台整体尺寸的前提下，为刻蚀槽的布置腾出更多空间，从而实现更高的空间利用率。
本实用新型一种带壁挂式烘干的湿法台在权利要求书中公布了：1.一种带壁挂式烘干的湿法台，其特征在于，包括湿法台本体200以及烘干装置100； 所述湿法台本体200具有作业腔室201； 所述作业腔室201底部设有刻蚀槽203； 所述作业腔室201内安装有移料机器人202； 所述烘干装置100安装于所述作业腔室201的侧面； 所述移料机器人202用于将工件移送至所述刻蚀槽203中以进行刻蚀； 所述移料机器人202还用于将所述刻蚀槽203中的所述工件移送至所述烘干装置100中以进行烘干。
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