北京市塑料研究所有限公司李海楠获国家专利权
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龙图腾网获悉北京市塑料研究所有限公司申请的专利柔性限位件、晶圆承载器及晶圆传输装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223462205U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422896491.4，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型柔性限位件、晶圆承载器及晶圆传输装置是由李海楠;朱道峰;马南;要博卿;刘哲伟;张宝庆;贾燕设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本柔性限位件、晶圆承载器及晶圆传输装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体技术领域，提供一种柔性限位件、晶圆承载器及晶圆传输装置。柔性限位件包括柔性本体，柔性本体的内部填充有压缩的分子量轻的惰性气体，在真空环境下，柔性本体内部的惰性气体膨胀，使柔性本体延伸；在大气压环境下，柔性本体外侧的气压大于柔性本体内部的气压，柔性本体收缩。本实用新型将柔性限位件应用于晶圆传输装置时，柔性限位件不仅可以对晶圆形成缓冲，而且可以对晶圆提供稳定的限位，以防止晶圆在承载槽内晃动，便于晶圆传输装置传送晶圆，避免晶圆出现划伤甚至出现破碎风险。
本实用新型柔性限位件、晶圆承载器及晶圆传输装置在权利要求书中公布了：1.一种柔性限位件，其特征在于，包括： 柔性本体31，所述柔性本体31的内部填充有压缩的分子量轻的惰性气体H，在真空环境T下，所述柔性本体31内部的惰性气体H膨胀，使所述柔性本体31延伸；在大气压环境P下，所述柔性本体31外侧的气压大于所述柔性本体31内部的气压，所述柔性本体31收缩。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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