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龙图腾网获悉素珀电子科技(上海)有限公司申请的专利一种用于晶圆传送的机械手获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223462206U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422678741.7，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种用于晶圆传送的机械手是由朱玉东;严梦;刘玮;赵渠设计研发完成，并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆传送的机械手在说明书摘要公布了：本申请涉及一种用于晶圆传送的机械手，包括手臂、末端执行器和腕部关节，腕部关节包括与手臂的一端部可枢转连接的旋转体，旋转体的端面与末端执行器的壳体的连接部面对面连接，并且具有相同的旋转中心；还包括至少四个固定点，设置在距旋转中心预定半径上且均匀地分布在该预定半径的圆周上，至少四个固定点的每一个包括设置在旋转体上的螺栓孔、设置在连接部上与旋转体上的螺栓孔对应的弧形长孔、以及紧固旋转体和连接部的紧固螺栓；以及调节点，包括设置在连接部上位于相邻的两组固定点之间的螺纹孔、设置在旋转体的端面上的承载区、以及拧入螺纹孔内并抵靠承载区的顶丝。固定点和调节点设置在关于旋转中心具有相同半径的圆周上。

本实用新型一种用于晶圆传送的机械手在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆传送的机械手，其特征在于，包括： 手臂； 末端执行器，包括壳体和与所述壳体一端连接的手指；以及 腕部关节，包括与所述手臂的一端部可枢转连接的旋转体，所述旋转体的端面与所述末端执行器的所述壳体另一端上的连接部面对面连接，并且具有相同的旋转中心； 至少四个固定点，设置在距所述旋转中心预定半径上且均匀地分布在该预定半径的圆周上，所述至少四个固定点的每一个包括设置在所述旋转体上的螺栓孔、设置在所述连接部上与所述旋转体上的螺栓孔对应的螺栓孔、以及紧固所述旋转体和所述连接部的紧固螺栓；以及 调节点，包括设置在所述连接部上位于相邻的两组固定点之间的螺纹孔、设置在所述旋转体的端面上的承载区、以及拧入所述螺纹孔内并抵靠所述承载区的顶丝； 其中，所述固定点和所述调节点设置在关于所述旋转中心具有相同半径的圆周上；并且 其中，当对所述手指进行水平调节时，将所述紧固螺栓按照预设扭矩穿过所述固定点并旋入螺孔将所述壳体与所述旋转体把和在一起，将所述顶丝旋入所述调节点并抵接在所述承载区，通过改变所述顶丝的旋入深度以改变旋转体的端面与所述壳体的连接部之间的角度，进而改变所述手指的水平度。

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