上海宏轶电子科技有限公司黄运军获国家专利权
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龙图腾网获悉上海宏轶电子科技有限公司申请的专利SMIF晶圆盒自动开合盖机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223462207U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422852158.3，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型SMIF晶圆盒自动开合盖机构是由黄运军设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本SMIF晶圆盒自动开合盖机构在说明书摘要公布了：SMIF晶圆盒自动开合盖机构，属于半导体晶圆辅助生产设备技术领域，包括机架板、底盘支撑台，还具有开锁机构、盒罩固定抬升机构，底盘支撑台后侧安装在机架板前侧端中部；开锁机构包括旋转气缸和开锁头、连接板并安装在底盘支撑台下端，盒罩固定抬升机构包括电动直线滑台、盒罩固定板并安装在机架板前侧端下端。本新型通过简单的控制，能自动经开锁机构使得底盘两只锁定杆外侧端分别和盒罩的内下端两侧的锁定槽分离，然后抬升盒罩的高度，方便基于PLC等控制的六轴机器人逐一将多只晶圆片从底盘上取下转移到下一工位，且晶圆片取出完后，还能将底盘和盒罩组合在一起，方便转移到上一工位，给工作人员带来了便利，并提高了工作效率。
本实用新型SMIF晶圆盒自动开合盖机构在权利要求书中公布了：1.SMIF晶圆盒自动开合盖机构，包括机架板、底盘支撑台，其特征在于，还具有开锁机构、盒罩固定抬升机构，所述机架板的上端有操作口，六轴机器人安装在机架板的后侧端；所述底盘支撑台后侧固定安装在机架板前侧端中部、且位于操作口下侧端；所述开锁机构包括旋转气缸和开锁头、连接板，连接板有开孔，旋转气缸安装在连接板下侧端且其转轴上部经由开孔位于连接板上端外，连接板上端两侧分别安装在底盘支撑台下端两侧，开锁头的下端安装在旋转气缸的转轴上端；所述底盘支撑台的上端有旋转槽，底盘支撑台的上端安装有多只定位柱；所述盒罩固定抬升机构包括电动直线滑台、盒罩固定板，电动直线滑台的壳体安装在机架板前侧端下端，电动直线滑台的转动块前侧端安装有横板，横板的前端两侧分别安装有立板，盒罩固定板的下端两侧分别安装在两只立板的上端，盒罩固定台有固定孔。
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