广东长信精密设备有限公司赵果获国家专利权
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龙图腾网获悉广东长信精密设备有限公司申请的专利一种晶圆运载机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223462208U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422860808.9，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆运载机构是由赵果;吴伟平;邹展设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆运载机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆检测技术领域，公开了一种晶圆运载机构，包括装载装置以及用于驱动装载装置移动的运载装置：装载装置包括托盘，托盘的顶面沿垂直方向依次设置有多个直径逐渐变小的容置槽，多个容置槽的圆心相同，多个容置槽分别用于容置不同尺寸的晶圆；运载装置包括滑轨、滑块和驱动装置，滑轨与滑块滑动连接，滑块与托盘固定连接，驱动装置与托盘连接以驱动托盘沿滑轨移动；本实用新型通过在托盘上设置多个容置槽，使得托盘在面对不同尺寸的晶圆时，均能够起到很好的限位作用，避免晶圆在移动过程中因晃动导致位置出现偏差等，确保了晶圆位置的准确性，运载装置和多个容置槽的设置也提高了不同尺寸晶圆的转移效率。
本实用新型一种晶圆运载机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆运载机构，其特征在于，包括装载装置以及用于驱动所述装载装置移动的运载装置： 所述装载装置包括托盘，所述托盘的顶面沿垂直方向依次设置有多个直径逐渐变小的容置槽，多个所述容置槽的圆心相同，多个所述容置槽分别用于容置不同尺寸的晶圆； 所述运载装置包括滑轨、滑块和驱动装置，所述滑轨与滑块滑动连接，所述滑块与所述托盘固定连接，所述驱动装置与所述托盘连接以驱动所述托盘沿所述滑轨移动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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