苏州大学王慧全获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州大学申请的专利一种基于CGH的凸面光栅检测系统及设计方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115901181B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210202684.8,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权一种基于CGH的凸面光栅检测系统及设计方法是由王慧全;陈新华;朱嘉诚;沈为民设计研发完成,并于2022-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于CGH的凸面光栅检测系统及设计方法在说明书摘要公布了:本申请公开一种基于CGH的凸面光栅检测系统及设计方法。该系统的干涉仪中发出的测试光入射至所述第一CGH补偿器上;经第一CGH补偿器相位调制后,将其第一级次衍射光反射至待测凸面光栅;经待测凸面光栅衍射后,待测凸面光栅的工作级次衍射光反射至所述第二CGH补偿器;经第二CGH补偿器相位调制后,其第一级次衍射光的会聚点与标准球面反射镜的曲率中心重合;经标准球面反射镜后,测试光原路返回至所述干涉仪中。测试光与参考光发生干涉,干涉仪能够根据干涉条纹测量该光路的波像差;本申请具有结构简单、易于装调、光能利用率高、测量对象范围广的优点。
本发明授权一种基于CGH的凸面光栅检测系统及设计方法在权利要求书中公布了:1.一种基于CGH的凸面光栅检测系统,其特征在于,包括:干涉仪、第一CGH补偿器、第二CGH补偿器及标准球面反射镜,所述第一CGH补偿器、第二CGH补偿器设置在同一块基板上, 干涉仪中发出的测试光入射至所述第一CGH补偿器上; 经第一CGH补偿器相位调制后,其第一级次衍射光反射至待测凸面光栅; 经待测凸面光栅衍射后,待测凸面光栅的工作级次衍射光反射至所述第二CGH补偿器; 经第二CGH补偿器相位调制后,其第一级次衍射光的会聚点与标准球面反射镜的曲率中心重合; 经标准球面反射镜后,测试光原路返回至所述干涉仪中;还包括: 第一空间滤波器,所述第一空间滤波器设置于所述标准球面反射镜的曲率中心位置; 第二空间滤波器,所述第二空间滤波器设置于所述干涉仪的焦点位置。
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