芯峰光电技术(深圳)有限公司钟文彪获国家专利权
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龙图腾网获悉芯峰光电技术(深圳)有限公司申请的专利一种垂直发射型EML芯片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116632650B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310283716.6,技术领域涉及:H01S5/12;该发明授权一种垂直发射型EML芯片是由钟文彪;李素萍;钟文斌设计研发完成,并于2023-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种垂直发射型EML芯片在说明书摘要公布了:本发明公开了一种垂直发射型EML芯片,属于EML芯片技术领域,包括衬底和发射柱,衬底上方设置有氧化层,氧化层上方设置有EAM‑MQW层,EAM‑MQW层上方设置有DFB‑MQW层,DFB‑MQW层上方设置有光栅层,光栅层上方设置有InP包层,InP包层上方设置有电极层,电极层上设置有EA引脚和SOA板,EAM‑MQW层至电极层间开设有垂直腔,发射柱设置在垂直腔内侧壁上,发射柱上设置有LD激光器。本发明通过EAM‑MQW层和DFB‑MQW层的设置,减少EML芯片制作的复杂性,提升EML芯片的制成速度,提高EML晶元的良率和稳定性,便于保证EML芯片的一致性,使得加工更容易,降低了制作成本,同时垂直腔和EA引脚的设置,可以使得EML芯片可以灵活适应内外部存储,提高了芯片的适用性,提升了波长的稳定性和均匀性。
本发明授权一种垂直发射型EML芯片在权利要求书中公布了:1.一种垂直发射型EML芯片,包括衬底1和发射柱2,其特征在于,所述衬底1上方设置有氧化层6,所述氧化层6上方设置有EAM-MQW层7,所述EAM-MQW层7上方设置有DFB-MQW层8,所述DFB-MQW层8上方设置有光栅层9,所述光栅层9上方设置有InP包层10,所述InP包层10上方设置有电极层11,所述电极层11上设置有EA引脚4和SOA板5,所述EAM-MQW层7至电极层11间开设有垂直腔,所述发射柱2设置在垂直腔内侧壁上,所述发射柱2上设置有LD激光器3。
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