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龙图腾网获悉深圳技术大学申请的专利一种多波长智能型准分子激光加工系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117293639B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210693766.7，技术领域涉及：H01S3/101；该发明授权一种多波长智能型准分子激光加工系统是由马跃;游利兵;朱能伟;刘弘禹;方晓东设计研发完成，并于2022-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多波长智能型准分子激光加工系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多波长智能型准分子激光加工系统，包括工作台，工作台上设有能够向外发射不同波长激光的第一激光激励发生器、第二激光激励发生器及第三激光激励发生器，工作台上设有第一反射镜、第二反射镜及第三反射镜，工作台上还设有能够使得第一反射镜、第二反射镜或第三反射镜反射的激光通过的光学系统。本发明目的是克服了现有技术的不足，根据准分子激光器结构和技术特点提供的一种在单台系统上能够发射多种波长准分子激光的多波长智能型准分子激光加工系统，同时设计一种智能化的实时控制系统，实现在准分子激光精密加工过程中能够在线监测加工状况并实时控制调整准分子激光输出参数达到高效、精准和自动控制的加工。

本发明授权一种多波长智能型准分子激光加工系统在权利要求书中公布了：1.一种多波长智能型准分子激光加工系统，其特征在于：包括工作台1，所述的工作台1上设有能够向外发射不同波长激光的第一激光激励发生器21、第二激光激励发生器22及第三激光激励发生器23，所述的工作台1上设有能够与第一激光激励发生器21位置对应并改变第一激光激励发生器21激光射出方向的第一反射镜31，所述的工作台1上还活动连接有与第二激光激励发生器22位置对应并改变第二激光激励发生器22激光射出方向的第二反射镜32，所述的工作台1上还活动连接有与第三激光激励发生器23位置对应并改变第三激光激励发生器23激光射出方向的第三反射镜33，且当第一反射镜31反射激光时所述的第二反射镜32及第三反射镜33能够相对工作台1移动而为第一反射镜31反射的激光让路，且当第二反射镜32反射激光时所述的第三反射镜33能够相对工作台1移动而为第二反射镜32反射的激光让路，所述的工作台1上还设有能够使得第一反射镜31、第二反射镜32或第三反射镜33反射的激光通过的光学系统4，所述的多波长智能型准分子激光加工系统还包括能够控制第一激光激励发生器21、第二激光激励发生器22及第三激光激励发生器23工作的控制系统5及能为第一激光激励发生器21、第二激光激励发生器22、第三激光激励发生器23供电的高压充电电源93及用于装夹工件6的加工台7，所述的第一激光激励发生器21、第二激光激励发生器22及第三激光激励发生器23在竖直方向上堆叠设置，所述的第一反射镜31、第二反射镜32及第三反射镜33上下间隔设置并分别与第一激光激励发生器21、第二激光激励发生器22及第三激光激励发生器23位置对应，且所述的第二反射镜32及第三反射镜33能够相对工作台1移动，所述的工作台1上还连接有能够检测加工台7上加工完成的工件6的CCD探头100，所述的CCD探头100连接有CCD处理系统101，所述的且所述的CCD探头100及CCD处理系统101与控制系统5电连接，所述的第一激光激励发生器21、第二激光激励发生器22及第三激光激励发生器23均包括设于工作台1上的框架82，所述的框架82内连接有用于储存气体的储气罐81，所述的储气罐81上通过阀门83连接有气体循环腔84，气体循环腔84内的激光气体通过内部的循环驱动将激光气体送入激光谐振腔88，所述的框架82内还连接有激励电路85和高压开关86，所述的高压开关86控制激励电路85对激光谐振腔88内的气体激励而产生激光，所述的高压充电电源93与激励电路85及高压开关86电连接，所述的激光谐振腔88的出口端还设置有激光谐振镜片87，所述的第一激光激励发生器21、第二激光激励发生器22及第三激光激励发生器23分别能够发射193nm、248nm及308nm的激光，所述的第一激光激励发生器21、第二激光激励发生器22及第三激光激励发生器23的储气罐81内分别储存有ArF气体、KrF气体及XeCl气体。

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