青海丽豪半导体材料有限公司石亮成获国家专利权
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龙图腾网获悉青海丽豪半导体材料有限公司申请的专利避免多晶硅还原炉出现异常的进料方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117326558B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311237606.2,技术领域涉及:C01B33/035;该发明授权避免多晶硅还原炉出现异常的进料方法是由石亮成;杨强强设计研发完成,并于2023-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本避免多晶硅还原炉出现异常的进料方法在说明书摘要公布了:本发明涉及多晶硅还原炉技术领域,尤其涉及一种避免多晶硅还原炉出现异常的进料方法。本发明通过还原炉进气温度保持在100℃以上,并且在三氯氢硅的进气管道上设置开度为1%的管道阀门,避免进气管道内沉积的液体进入还原炉,避免还原炉内雾化硅芯长毛刺影响多晶硅产物的质量,同时也避免还原炉内底盘起火,保护还原炉的设备安全,节约停炉时间,降低生产成本。本发明解决了现有技术中多晶硅还原炉容易出现异常导致产量和质量较差的问题,达到了避免多晶硅还原炉出现异常,保护还原炉的同时还增加产量和质量目的。
本发明授权避免多晶硅还原炉出现异常的进料方法在权利要求书中公布了:1.一种避免多晶硅还原炉出现异常的进料方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、分别加热氢气和三氯氢硅,得到加热后的氢气和加热后的三氯氢硅; S2、将S1中得到的加热后的氢气和加热后的三氯氢硅同步通入静态混合器,得到混合进料气体,所述三氯氢硅通过三氯氢硅进气管通入所述静态混合器,所述三氯氢硅进气管的进气端设置有管道阀门,调节所述管道阀门开度为1%; S3、保持S2中得到的混合进料气体的温度>100℃; S4、将所述混合进料气体通入还原炉,并在还原炉中反应得到多晶硅产物。
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