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龙图腾网获悉江阴市辉龙电热电器有限公司申请的专利一种晶圆蚀刻用酸液加热筒获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117329699B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311360956.8，技术领域涉及：F24H1/10；该发明授权一种晶圆蚀刻用酸液加热筒是由苗培仁;冯永平;胡凯;于枫设计研发完成，并于2023-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆蚀刻用酸液加热筒在说明书摘要公布了：一种晶圆蚀刻用酸液加热筒，它包括出液口固定座，进液口固定座，外壳，传感器引线口，电源线引线口，隔热棉，进液口、出液口，均流板，膨胀压紧机构，外筒，内筒，侧板，电加热膜，传感及控制器，螺杆，螺母，膨胀壳，多瓣部件，圆筒，锥形环，其特征是：两固定座和外壳共同构成加热器外壳，均流板、外筒、内筒和侧板共同构成石英加热筒，加热筒安装于加热器外壳中，二者之间填充有隔热棉，电加热膜通过膨胀压紧机构紧贴于外筒的内壁。本发明可以精确测量和控制加热液温度，提高加热效率，避免了流动死角和局部高温，同时具有耐腐蚀能力强、能够满足半导体湿法处理领域所需化学品的高洁净度、快速响应等加热需求的优点。

本发明授权一种晶圆蚀刻用酸液加热筒在权利要求书中公布了：1.一种晶圆蚀刻用酸液加热筒，包括出液口固定座1、进液口固定座2和外壳3，出液口固定座1上设有传感器引线口4和电源线引线口5，外壳3的两端分别安装在出液口固定座1和进液口固定座2上，其特征在于：外壳3中安装有外筒10，外壳3和外筒10之间加装有保温用的隔热棉6；外筒10的两端加装有侧板12，一端的侧板12上安装有进液口22，另一端的侧板12上安装有出液口7，外筒10及两端侧板12形成一个空心圆桶形加热腔，在外筒10的外表面加装有由若干组加热膜组成的外加热膜组件；外加热膜组件的内表面与外筒10贴合，外表面与隔热棉6相接触；在外筒10中安装有内筒11，内筒11上至少安装有两块圆形均流板8，均流板8的外径小于外筒10的内径；在内筒11中安装有由若干组加热膜组成的内加热膜组件，所述的内加热膜组件通过膨胀压紧机构9压贴在内筒壁上；外筒10中靠近出液口7的一端安装有传感及控制器14，控制器根据测量的出液口7处的温度自动控制外加热膜组件和内加热膜组件中各加热组件的加热功率，以便使出液口的出液温度保持在设定范围内；所述的膨胀压紧机构9由螺杆15、螺母16、膨胀壳17、多瓣部件18、圆筒19和锥形环20共同构成，螺母16、多瓣部件18、圆筒19和锥形环20都套在螺杆15上，螺母16位于螺杆15的两端，多瓣部件18至少由两瓣组成，多瓣部件18的两侧设有与一个锥形环20相配的斜面，两相邻的锥形环20中放置一个圆筒19用于传递推力；拧动螺杆15一端的螺母16，推动锥形环20向螺杆15的另一端移动，锥形环20通过斜面推动多瓣部件18作径向移动从而使膨胀壳17变形，膨胀壳17将内加热膜组件紧贴在内筒11的内表面上以利于内加热膜组件的热量向内筒内壁传递并加热流经内筒外壁的酸液；所述的外筒10、内筒11和侧板12共同构成一中空环形加热腔，安装于外壳3之中，外壳3内侧贴有隔热棉6；外筒10外侧贴有由外层近入口处的第一加热膜、外层中间位置处第二加热膜和外层近出口处的第三加热膜27共同构成外层加热膜；两侧板上分别装有进液口、出液口；所述两均流板套于内筒上，将中空环形加热腔沿轴向分为三段，均流板的一半区域上沿径向均匀分布有若干通液孔；安装均流板时，应保证其开有通液孔的那一半与其外侧的进出液口处于相反位置。

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