买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利聚酰亚胺树脂的涂布方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117619706B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311633476.4，技术领域涉及：B05D7/24；该发明授权聚酰亚胺树脂的涂布方法是由王岳;温斐旻;李海涛设计研发完成，并于2023-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本聚酰亚胺树脂的涂布方法在说明书摘要公布了：一种聚酰亚胺树脂的涂布方法包括步骤：S1，提供半导体衬底，该半导体衬底是指在半导体工艺中完成光刻工艺之前流程的晶圆片；S2，向静止的半导体衬底中心位置滴下聚酰亚胺树脂溶液；S3，聚酰亚胺树脂溶液滴完之后，以第一速率旋转半导体衬底第一时间；S4，在步骤S3的第一时间结束后立即以第二速率旋转半导体衬底第二时间，第二速率大于第一速率；S5，在步骤S4的第二时间结束后立即以第三速率旋转半导体衬底第三时间，第三速率控制大于第二速率；S6，在步骤S5的第三时间结束后立即以第四速率旋转半导体衬底第四时间，第四速率大于第三速率。由此，使得铺满在整个半导体衬底上的聚酰亚胺树脂溶液的厚度均匀，从而提高产品的性能和良率。

本发明授权聚酰亚胺树脂的涂布方法在权利要求书中公布了：1.一种聚酰亚胺树脂的涂布方法，其特征在于，包括步骤： S1，提供半导体衬底，该半导体衬底是指在半导体工艺中完成光刻工艺之前流程的晶圆片； S2，向静止的半导体衬底中心位置滴下聚酰亚胺树脂溶液； S3，聚酰亚胺树脂溶液滴完之后，以第一速率旋转半导体衬底第一时间； S4，在步骤S3的第一时间结束后立即以第二速率旋转半导体衬底第二时间，第二速率大于第一速率； S5，在步骤S4的第二时间结束后立即以第三速率旋转半导体衬底第三时间，第三速率控制大于第二速率； S6，在步骤S5的第三时间结束后立即以第四速率旋转半导体衬底第四时间，第四速率大于第三速率； 在步骤S3中，以第一速率旋转半导体衬底第一时间使酰亚胺树脂溶液铺满到从半导体衬底的中心至比半导体衬底的半径的一半小的位置； 在步骤S4中，在步骤S3的第一时间结束后立即以第二速率旋转半导体衬底第二时间使酰亚胺树脂溶液铺满到从半导体衬底的中心至等于半导体衬底的半径的一半的位置； 在步骤S5中，在步骤S4的第二时间结束后立即以第三速率旋转半导体衬底第三时间使酰亚胺树脂溶液铺满到从半导体衬底的中心至比半导体衬底的半径的一半大但比半导体衬底的半径小的位置； 在步骤S6中，在步骤S5的第三时间结束后立即以第四速率旋转半导体衬底第四时间使从半导体衬底的中心至酰亚胺树脂溶液铺满到等于半导体衬底的半径的位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人安徽光智科技有限公司，其通讯地址为：239004 安徽省滁州市琅琊经济开发区南京路100号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。