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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利一种掩膜版生产设备及其生产工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117821977B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410006985.2，技术领域涉及：C23F1/08；该发明授权一种掩膜版生产设备及其生产工艺是由管金榜;徐华伟;沈洵;倪源设计研发完成，并于2024-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种掩膜版生产设备及其生产工艺在说明书摘要公布了：本发明属于研磨板生产设备技术领域，尤其涉及一种掩膜版生产设备，包括：工作箱，驱动电机，分别间隔于工作箱一端壁的两侧，输出端均贯穿至工作箱内；丝锥杆，分别一端与驱动电机的输出端连接，另一端分别与工作箱背离驱动电机一侧的内壁转动连接；吸附装置，移动端连接于两个丝锥杆上，压合端设置于工作箱内壁上，吸附端朝向于工作箱顶端开口；测厚仪，固定端设置于工作箱顶端的两侧，输出端位于工作箱顶端开口的上方；打磨机构，固定端设置于工作箱顶端的两侧，输出端延伸至工作箱内；化学蚀刻装置，设置于工作箱顶端；本发明的有益效果为；对掩膜版不同位置打磨出不同的厚度、对不同厚度的研磨板进行不同的化学蚀刻及研磨板蒸镀效果极佳。

本发明授权一种掩膜版生产设备及其生产工艺在权利要求书中公布了：1.一种掩膜版生产设备的生产工艺，其特征在于，该掩膜版生产设备包括： 工作箱1，所述工作箱1为长方体状并且底端放置于地面上； 两个驱动电机2，固定端分别间隔于工作箱1一端壁的两侧，输出端均贯穿至工作箱1内； 两个丝锥杆3，分别一端与驱动电机2的输出端固定连接，另一端分别与工作箱1背离驱动电机2一侧的内壁转动连接； 吸附装置，移动端连接于两个丝锥杆3上，压合端设置于工作箱1内壁上，吸附端朝向于工作箱1顶端开口； 测厚仪31，固定端设置于工作箱1顶端的两侧，输出端位于工作箱1顶端开口的上方； 打磨机构，固定端设置于工作箱1顶端的两侧，输出端延伸至工作箱1内； 以及化学蚀刻装置，设置于工作箱1顶端开口处； 其中，所述吸附装置用于吸附未加工的掩膜版，所述测厚仪31用于测得掩膜版的厚度，所述打磨机构用于将掩膜版打磨出不同厚度，所述化学蚀刻装置用于对不同厚度的掩膜版上进行不同强度的化学蚀刻； 生产工艺包括如下步骤： S1：首先将需要未加工的掩膜版放置于吸附装置上，吸附装置进行对未加工的掩膜版进行吸附； S2：启动打磨机构并使驱动电机2继续移动吸附装置，当吸附装置移动过打磨机构时，打磨机构对掩膜版厚度进行打磨，打磨出不同地方不同厚度，完成打磨； S3：当掩膜版打磨后，驱动电机2驱动吸附装置移动至测厚仪31下方进行检测厚度； S4：当掩膜版未达到厚度需求时，同理S2进行二次打磨实现厚度要求； S5：当掩膜版厚度达到要求时，掩膜版进行光阻涂布、双面曝光及显影，然后再重新安装于吸附装置上才进行化学蚀刻，驱动电机2将吸附装置移动至化学蚀刻装置下方，化学蚀刻装置对掩膜版进行化学蚀刻并且清洗，此时完成第一面掩膜版进行化学蚀刻； S6：此时操作者进行对掩膜版翻面，使吸附装置进行对掩膜版反向吸附，然后进行掩膜版的第二面化学蚀刻；S7：驱动电机2将吸附装置移动出化学蚀刻装置，操作者对加工好的掩膜版进行拿取。

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