深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司周宏业获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利一种导片设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118173481B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410200392.X,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种导片设备是由周宏业;伍波;刘晔锟;廖程波;赵昌胜设计研发完成,并于2024-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种导片设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种导片设备,包括转载装置、第一上料装置、第一下料装置、第二上料装置、第二下料装置及机架,在工作过程中,两组三列的硅片沿X方向进入变轨区,其中,位于第一输送线上的硅片由变轨组件移动至相邻的第二输送线,经过变轨区后,两个第一输出组及一个第二输出组共同沿X方向输出三组两列的硅片,三组两列的硅片分别输出至三个干法花篮中,从而实现硅片从湿法花篮至干法花篮的自动化转载,无需人工操作,能够缩短转载所需的工时,提升生产效率,且能够避免作业人员接触硅片,从而能够避免硅片被污染,还能够避免由于作业人员手持不稳而导致的硅片掉落,有利于保证良品率,降低生产成本。
本发明授权一种导片设备在权利要求书中公布了:1.一种导片设备,用于将硅片从湿法花篮转移至干法花篮,所述湿法花篮中能够放置三列所述硅片,所述干法花篮中能够放置两列所述硅片,其特征在于,所述导片设备包括: 转载装置,具有沿X方向依次设置的输入区、变轨区及输出区,所述转载装置包括两个变轨输送机构,所述变轨输送机构包括第一输送线、第二输送线及变轨组件,所述第一输送线与所述第二输送线均沿X方向延伸且均能够放置并沿X方向输送单片的硅片,所述第一输送线自所述输入区延伸至所述变轨区,所述第二输送线自所述变轨区延伸至所述输出区,在所述变轨区内,所述第一输送线与所述第二输送线在Y方向上错开设置,所述变轨组件位于所述变轨区,所述变轨组件用于将硅片从所述第一输送线移动至相邻的所述第二输送线;所述转载装置还包括四个第三输送线,所述第三输送线沿X方向延伸且能够放置并沿X方向输送单片的硅片,所述第三输送线自所述输入区延伸至所述输出区,在所述输入区内,两个所述第三输送线与一个所述第一输送线沿Y方向并排设置形成一输入组,所述输入组设置有两个;在所述输出区内,两个所述第三输送线沿Y方向并排设置形成一第一输出组,所述第一输出组设置有两个,两个所述第二输送线沿Y方向并排设置形成一第二输出组,两个所述第一输出组分设于所述第二输出组在Y方向上的两侧;所述Y方向与所述X方向垂直; 第一上料装置,对接于所述输入区远离所述变轨区的一端以向所述转载装置供给装有所述硅片的所述湿法花篮; 第一下料装置,对接于所述输入区远离所述变轨区的一端以输出空的所述湿法花篮; 第二上料装置,对接于所述输出区远离所述变轨区的一端以向所述转载装置供给空的所述干法花篮; 第二下料装置,对接于所述输出区远离所述变轨区的一端以输出装有所述硅片的干法花篮; 机架,所述转载装置、所述第一上料装置、所述第一下料装置、所述第二上料装置及所述第二下料装置均安装于所述机架; 所述第一输送线包括两个第一带式输送结构,所述第一带式输送结构沿X方向设置,所述第一带式输送结构的上表面用于承载工件并沿X方向输送工件,所述第一带式输送结构沿X方向具有第一输送部及第一对接部,两个所述第一对接部之间限定有第一间隔; 所述第二输送线包括两个第二带式输送结构,所述第二带式输送结构沿X方向设置,所述第二带式输送结构的上表面用于承载工件并沿X方向输送工件,所述第二带式输送结构沿X方向具有第二输送部及第二对接部,两个所述第二对接部之间限定有第二间隔,所述第一对接部与所述第二对接部沿Y方向依次设置; 所述变轨组件包括横移滑轨、升降驱动件及承载件,所述横移滑轨位于所述第一输送线及所述第二输送线的下方,所述升降驱动件沿Y方向滑动连接于所述横移滑轨,所述升降驱动件的输出端连接于所述承载件以驱动所述承载件沿竖直方向移动,所述承载件能够穿过所述第一间隔以移动至所述第一输送线的上方或下方,所述承载件能够穿过所述第二间隔以移动至所述第二输送线的上方或下方; 其中,所述X方向、所述Y方向及竖直方向两两垂直; 所述第一对接部具有第一横移间隔,所述第二对接部具有第二横移间隔,所述第一横移间隔与所述第二横移间隔均沿Y方向延伸,所述第一横移间隔与所述第二横移间隔沿Y方向依次设置,所述升降驱动件能够沿Y方向在所述第一横移间隔及所述第二横移间隔中移动; 或,所述第一对接部与所述第一输送部之间具有沿Y方向延伸的第一横移间隔,所述第一横移间隔与所述第二对接部远离所述第二输送部的一侧边缘沿Y方向依次设置,所述升降驱动件能够沿Y方向在所述第一横移间隔以及所述第二对接部远离所述第二输送部的一侧移动; 或,所述第二对接部与所述第二输送部之间具有沿Y方向延伸的第二横移间隔,所述第二横移间隔与所述第一对接部远离所述第一输送部的一侧边缘沿Y方向依次设置,所述升降驱动件能够沿Y方向在所述第二横移间隔以及所述第一对接部远离所述第一输送部的一侧移动。
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