深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司周宏业获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利自动半片导片及装片设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118173482B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410200395.3,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权自动半片导片及装片设备是由周宏业;刘晔锟;赵昌胜;曾程设计研发完成,并于2024-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本自动半片导片及装片设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种自动半片导片及装片设备,包括操作平台、气刀组件、基片输送装置、取放片装置、叠片盒输送装置、叠片盒升降装置,吹气组在第一方向排布于操作平台的数量与叠片盒在第一方向排布于叠片盒输送装置上的数量相同,由于叠片盒具有沿第一方向被输送以及在竖直方向上升降的运动,将气刀组件设置于最高位,且不会跟随叠片盒升降,叠片盒的上料位与下料位均位于气刀组件的下方,叠片盒的输送不会与气刀组件发生干涉,叠片盒内装载的基片量不受约束,基片输送装置对基片的输送量以及取放片装置取放基片的量可随之提升,能够有效提高基片的导片、工艺效率及设备产能。
本发明授权自动半片导片及装片设备在权利要求书中公布了:1.自动半片导片及装片设备,其特征在于,包括: 操作平台; 气刀组件,固定于操作平台顶部,所述气刀组件包括多个吹气组,每一所述吹气组包括至少一个气刀,每个吹气组配置为沿第一方向向其中一个叠片盒内的基片吹送气流,所述吹气组沿所述第一方向与第二方向排布,且沿所述第二方向排布有n个,其中n≥3,所述第一方向垂直于所述第二方向; 基片输送装置,用于将所述叠片盒内的基片传输至花篮的装载位置,所述基片输送装置在所述第二方向上排布有n个基片; 取放片装置,用于拾取叠片盒内的基片并放置于所述基片输送装置上传输; 叠片盒输送装置,用于沿所述第一方向传输叠片盒; 叠片盒升降装置,与所述叠片盒输送装置连接,并用于驱动所述叠片盒输送装置升降,所述叠片盒输送装置具有上料位、下料位与吸片位,所述下料位、所述上料位与所述吸片位的高度递增,所述叠片盒输送装置配置为在所述上料位接收满载基片的叠片盒,并经所述叠片盒升降装置的驱动上升至所述吸片位,以受所述气刀组件的气流吹送而供所述取放片装置取出所述叠片盒内的基片放置于所述基片输送装置,进而经所述叠片盒升降装置的驱动下降至所述下料位,并输送空载的叠片盒; 所述基片输送装置与所述叠片盒输送装置均设置有多个,每一所述基片输送装置均位于所述叠片盒输送装置的侧部; 所述自动半片导片及装片设备还包括花篮输送装置、花篮升降装置与第一横移装置,所述花篮输送装置位于相邻的基片输送装置之间,并用于沿所述第一方向向所述第一横移装置输送空载的花篮,所述第一横移装置沿所述第二方向延伸,并将空载的花篮沿所述第二方向输送至所述花篮升降装置,所述花篮升降装置用于装载并升降花篮,所述基片输送装置能够由花篮的开口处插入空载的花篮中,并将基片装载于花篮内,每层排布n个基片。
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