清华大学深圳国际研究生院李星辉获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学深圳国际研究生院申请的专利大范围绝对式辨向宏微协同光栅位移编码器及定位方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118274716B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410123677.8,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权大范围绝对式辨向宏微协同光栅位移编码器及定位方法是由李星辉;汪盛通设计研发完成,并于2024-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本大范围绝对式辨向宏微协同光栅位移编码器及定位方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种大范围绝对式辨向宏微协同光栅位移编码器,包括光源、光电探测器、光栅和掩膜版,所述光栅为混合光栅,所述混合光栅包括光栅区和编码区,所述编码区上设置有组编码一,所述掩膜版上设置有组编码二;所述组编码一包括至少两层,第一层为纳米级定位编码,第二层和后续的层数均为辨向定位编码,用于增加辨向范围,所述组编码二包括与所述组编码一层数对应的编码,同样包含设置在第一层的相同的纳米级定位编码,以及设置在第二层和后续层数的辨向定位编码。本发明可在大范围内指导运动方向从而寻找绝对标记,完成绝对式测量光路的设计,可实现合成孔径光学系统的位姿监控和矫正。
本发明授权大范围绝对式辨向宏微协同光栅位移编码器及定位方法在权利要求书中公布了:1.一种大范围绝对式辨向宏微协同光栅位移编码器,包括光源、光电探测器、光栅和掩膜版,其特征在于,所述光栅为混合光栅,所述混合光栅包括光栅区和编码区,所述编码区上设置有组编码一,所述掩膜版上设置有组编码二; 所述组编码一包括至少两层,第一层为纳米级定位编码,第二层和后续的层数均为辨向定位编码,用于增加辨向范围,所述组编码二包括与所述组编码一层数对应的编码,同样包含设置在第一层的相同的纳米级定位编码,以及设置在第二层和后续层数的辨向定位编码;所述辨向定位编码是在同一层按照特定间距设置的两个编码;混合光栅与掩模版上的特定间距不同,所述组编码一和组编码二的辨向定位编码中,最高一层的特定间距的差值的两倍为编码器的辨向大范围区间; 所述辨向定位编码为宽度为d的透明狭缝;在所述组编码一和组编码二中,一层所述辨向定位编码包括的两个编码分别为编码三和编码四,其中,所述纳米级定位编码与所述编码三的空间位置一一对应;在所述组编码一和组编码二中,所述编码三和编码四之间的特定间距分别为第一特定间距和第二特定间距,其中第一特定间距为在混合光栅上两编码之间的距离,第二特定间距为在掩模版上的两编码之间距离,两者关系为第二特定间距=第一特定间距+d。
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