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龙图腾网获悉中国电子技术标准化研究院申请的专利一种套刻误差补偿精度的测量系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118426268B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410606932.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种套刻误差补偿精度的测量系统及方法是由赵昭;李洁设计研发完成，并于2024-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种套刻误差补偿精度的测量系统及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及精密加工领域，公开了一种套刻误差补偿精度的测量系统，包括多模态传感器阵列，直接安装在套刻机工作区附近，包括分辨率为0.01微米的激光位移传感器、精度为±0.5℃的热电偶温度传感器，以及灵敏度为0.001g的加速度计，用于实时监测套刻过程中的位移、温度和振动数据。本发明通过直接在套刻机工作区附近安装的多模态传感器阵列实时监测位移、温度和振动数据，以及通过环境光强度传感器调整激光位移传感器的测量参数，本系统能够精确捕获套刻过程中的微小变化。这些数据的实时和精确监测及调整，使套刻过程中的误差得到有效补偿，显著提高了套刻产品的精度和生产过程的一致性。

本发明授权一种套刻误差补偿精度的测量系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种套刻误差补偿精度的测量系统，其特征在于，包括： 多模态传感器阵列，直接安装在套刻机工作区附近，包括分辨率为0.01微米的激光位移传感器、精度为±0.5℃的热电偶温度传感器，以及灵敏度为0.001g的加速度计，用于实时监测套刻过程中的位移、温度和振动数据，所述多模态传感器阵列进一步包括环境光强度传感器，用于监测工作环境光线变化，调整激光位移传感器的测量参数，以消除环境光线对位移测量精度的影响； 数据融合处理单元，内置微控制器和专用软件，采用加权平均和卡尔曼滤波算法，整合和优化来自多模态传感器阵列的数据，所述数据融合处理单元根据实时数据流的变化动态调整加权平均和卡尔曼滤波算法的权重参数，以适应不同套刻环境和材料的特性； 自适应误差补偿模块，集成PID控制器，接收数据融合处理单元的输出，动态调整套刻参数以补偿误差； 交互式用户界面，配备高清触摸屏，显示套刻误差分析结果和补偿建议，接收用户输入的套刻参数调整； 误差预测与补偿策略生成器，利用嵌入式深度神经网络处理器，执行基于LSTM的机器学习算法，分析历史和当前数据以预测未来套刻误差，并生成相应的补偿策略。

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