中国电子技术标准化研究院赵昭获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子技术标准化研究院申请的专利一种光刻精度测量装置及提高光刻精度的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118426269B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410668181.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻精度测量装置及提高光刻精度的方法是由赵昭;李洁设计研发完成，并于2024-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻精度测量装置及提高光刻精度的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光学工程技术领域，公开了一种光刻精度测量装置及提高光刻精度的方法，包括支撑架，所述支撑架的顶端右侧固定连接有安装架，所述安装架内侧固定连接有防护板，所述防护板的内部固定连接有两个导向杆，所述导向杆的外部套设有复位弹簧，所述导向杆的外部滑动连接有两个活动板，所述活动板的底部转动连接有两个牵引杆，所述牵引杆的底端转动连接有固定板。通过增设步进电机、转动盘、驱动块、摆动板、转动轴、扇形齿轮、齿条板等结构之间的先固化配合使用，从而可以自动吹除测试探头外表面的灰尘，可以确保测试探头表面保持清洁，防止灰尘对光束的散射或吸收，从而保持测量的精确性和稳定性。
本发明授权一种光刻精度测量装置及提高光刻精度的方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻精度测量装置，包括支撑架1，其特征在于，所述支撑架1的顶端右侧固定连接有安装架2，所述安装架2内侧固定连接有防护板401，所述防护板401的内部固定连接有两个导向杆407，所述导向杆407的外部套设有复位弹簧411，所述导向杆407的外部滑动连接有两个活动板406，所述活动板406的底部转动连接有两个牵引杆410，所述牵引杆410的底端转动连接有固定板412，所述固定板412的底端安装有测试探头413，所述安装架2的前后两侧均安装有一组固定块404，前侧所述固定块404的外部安装有伺服电机402，所述伺服电机402的输出端固定连接有双向螺杆403，所述双向螺杆403的外部螺纹连接有两个螺纹块405，所述安装架2的下表面滑动连接有移动板414，所述活动板406的外部固定连接有刚性牵引绳409，所述支撑架1的顶部安装有调节组件，所述防护板401的外部安装有除尘组件。
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