中国人民解放军国防科技大学翟德德获国家专利权
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龙图腾网获悉中国人民解放军国防科技大学申请的专利一种鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118603504B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410747280.6,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权一种鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法是由翟德德;石峰;曹红兵;田野设计研发完成,并于2024-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法,包括如下步骤:S1、确定辅助球面反射镜的位置;S2、确定CGH补偿器的位置;S3、确定激光球面波干涉仪的位置;S4、插入平凸透镜、并确定平凸透镜相对CGH补偿器的角度;S5、误差检测。本鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法,具有实现激光球面波干涉仪、CGH补偿器和辅助球面反射镜先后位置的确定,为后续平凸透镜的误差检测做好准备,避免了鸥翼型非球面曲率反转导致的测量光线相交、条纹无法解析的难题,能够适用于大口径的非球面平凸透镜的检测等优点。
本发明授权一种鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法在权利要求书中公布了:1.一种鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法,其特征在于,包括如下步骤: S1、确定辅助球面反射镜4的位置:激光球面波干涉仪1向辅助球面反射镜4发射测试光束,测试光束照射到辅助球面反射镜4后反射回激光球面波干涉仪1,并与激光球面波干涉仪1内的参考光束发生干涉,形成干涉条纹图,调整辅助球面反射镜4与激光球面波干涉仪1的相对位置,使辅助球面反射镜4的球心和激光球面波干涉仪1的球面波焦点5重合; S2、确定CGH补偿器2的位置:在激光球面波干涉仪1与辅助球面反射镜4之间插入CGH补偿器2,激光球面波干涉仪1向CGH补偿器2的第一对准全息21发射测试光束,测试光束照射到第一对准全息21后反射回激光球面波干涉仪1,并与激光球面波干涉仪1内的参考光束发生干涉,形成干涉条纹图,调整CGH补偿器2的位置,使激光球面波干涉仪1中形成的干涉条纹图为零条纹状态; S3、确定激光球面波干涉仪1的位置:移动激光球面波干涉仪1的位置,使得激光球面波干涉仪1向CGH补偿器2的第二对准全息22发出的测试光束,测试光束照射到第二对准全息22后反射回激光球面波干涉仪1,并与激光球面波干涉仪1内的参考光束发生干涉,形成干涉条纹图,调整激光球面波干涉仪1位姿,使激光球面波干涉仪1中形成的干涉条纹图为零条纹状态; S4、插入平凸透镜3、并确定平凸透镜3相对CGH补偿器2的角度:将平凸透镜3插入CGH补偿器2和辅助球面反射镜4之间,激光球面波干涉仪1发出的测试光束经过CGH补偿器2的辅助全息23的衍射作用后变为平行光束照射到平凸透镜3平面一侧,然后沿原光路返回到激光球面波干涉仪1,并与激光球面波干涉仪1内的参考光束发生干涉,形成干涉条纹图,调整平凸透镜3相对CGH补偿器2的角度,使激光球面波干涉仪1中形成的干涉条纹图为零条纹状态; S5、误差检测:激光球面波干涉仪1向CGH补偿器2的测试全息24发出的测试光束,测试光束经过测试全息24的衍射作用后,通过平凸透镜3照射到辅助球面反射镜4,并沿原光路返回到激光球面波干涉仪1与激光球面波干涉仪1内的参考光束发生干涉,形成干涉条纹图;平动平凸透镜3,使激光球面波干涉仪1中形成的干涉条纹图为零条纹状态,此时激光球面波干涉仪1检测到平凸透镜3的面形误差即为最终测量值; 所述第一对准全息21和第二对准全息22位于辅助全息23的外围,所述测试全息24位于辅助全息23的中部;所述辅助全息23呈环形;所述测试全息24呈圆形;所述第一对准全息21和第二对准全息22呈弧形、且以辅助全息23的中心对称布置;所述第一对准全息21和第二对准全息22均与辅助全息23外周侧贴合,所述测试全息24周侧与辅助全息23的内周侧贴合。
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