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龙图腾网获悉有研亿金新材料有限公司;有研亿金新材料(山东)有限公司申请的专利一种低损耗率的铱溅射靶材制备方法及铱溅射靶材获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118957509B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410911398.8，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种低损耗率的铱溅射靶材制备方法及铱溅射靶材是由任泽华;何金江;麻艳佳;罗俊锋;丁照崇;罗瑶设计研发完成，并于2024-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种低损耗率的铱溅射靶材制备方法及铱溅射靶材在说明书摘要公布了：本发明属于贵金属溅射靶材技术领域，具体涉及一种低损耗率的铱溅射靶材制备方法及铱溅射靶材。本发明采用真空高频感应加热炉进行铱片熔炼，熔炼开始前抽出腔体内气体，并充入保护性气体始终保持7×104Pa‑9×104Pa，避免熔体直接接触空气发生氧化，同时充入保护性气体减少熔体烧损。本发明对定向凝固得到的铸锭进行热处理，严格控制铸锭表面温度小于1450℃，控制铸锭表面活性，保证不易发生氧化，在轧制过程中持续通入保护性气体覆盖铸锭表面，减少铸锭表面与氧气和氮气接触，进而控制最终成品反应层厚度，降低机加工车削量，进而控制损耗率低于1‰。

本发明授权一种低损耗率的铱溅射靶材制备方法及铱溅射靶材在权利要求书中公布了：1.一种低损耗率的铱溅射靶材制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1熔炼：将纯度不低于4N的铱片加入真空高频感应加热炉中，先抽真空到9×10-4Pa-9×10-3Pa，再充入保护性气体至真空度为7×104Pa-9×104Pa，在2500-2700℃温度中熔炼，得到铱熔体； 2精炼：采用真空高频感应加热炉持续对铱熔体加热，保持熔体温度为2600-2700℃，并开启电磁搅拌； 3定向凝固：使用底部接入冷却水的水冷模具进行铱熔体浇铸，浇铸工艺为：先以5-8cm3s的速率浇铸到水冷模具的15-13处；然后减慢浇铸速度至3-5cm3s，浇铸到水冷模具25-35处；再以1-2cm3s的速率缓慢浇铸，待浇铸完成并冷却后，得到铸锭； 4分切：对铱铸锭进行分切得到铱靶坯； 5轧制：将分切好的铱靶坯放入气氛热处理炉中，通入还原性气氛，加热到1100-1450℃，保温0.5-2h；然后进行3-6道次轧制，轧制过程中持续通入保护性气体覆盖铱靶坯表面，轧制结束后获得高致密高取向的铱靶材半成品； 6还原：将铱靶材半成品放入气氛热处理炉中，通入还原性气氛，加热到300-600℃，保温0.5-1h，随炉冷却后取出； 7机加工：将还原后的铱靶材半成品进行机加工得到所述铱溅射靶材，所述铱溅射靶材相较于步骤1中铱片的质量损耗率＜1‰。

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