苏州赛森电子科技有限公司栾广庆获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州赛森电子科技有限公司申请的专利一种离子注入机及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119170472B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411489793.8，技术领域涉及：H01J37/317；该发明授权一种离子注入机及其使用方法是由栾广庆;赵辉设计研发完成，并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子注入机及其使用方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种离子注入机及其使用方法，涉及半导体制造技术领域，包括：晶圆载台，机械臂；对准台；气锁台；V型臂；靶盘两侧设有夹持点；靶盘的左右两侧设有槽型结构，靶盘表面设有与晶圆的对准标记，通过真空吸附点确保晶圆在旋转时紧密贴合靶盘表面，避免旋转时因离心力造成的位移，靶盘两侧的槽型结构为V型臂的晶圆传送提供了稳定的操作路径，确保传送过程顺畅无误，夹持点进一步固定晶圆边缘，在晶圆移动过程中防止晶圆晃动，对准标记则确保晶圆定位精准，实现了现有的离子注入机在生产6英寸晶圆时晶圆发生晃动，导致位置产生偏移的问题，可以使离子注入机可以在生产6英寸晶圆防止晶圆发生晃动，避免位置发生位移。
本发明授权一种离子注入机及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种离子注入机，包括： 晶圆载台，所述晶圆载台位于传送系统的起点； 机械臂，所述机械臂与所述晶圆载台呈活动连接，所述机械臂与所述晶圆载台配合使用； 对准台，所述对准台连接至所述机械臂的一端； 气锁台，所述气锁台连接至所述机械臂的另一端； V型臂，所述V型臂与所述气锁台连接，所述V型臂用于将晶圆传送至靶盘； 其特征在于， 所述靶盘连接至旋转驱动系统，所述靶盘的中央区域设置有多个真空吸附点，所述真空吸附点用于固定所述晶圆，所述靶盘表面设有与所述晶圆的对准标记； 所述靶盘的左右两侧设有槽型结构，用于为所述V型臂提供路径，所述V型臂两侧设有夹持点，所述夹持点与所述晶圆边缘固定； 所述槽型结构位于所述靶盘两侧并与所述V型臂的抓取结构相匹配； 所述靶盘通过机械固定方式与所述旋转驱动系统连接，所述机械固定方式包括多个均匀分布的固定点。
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