乐山希尔电子股份有限公司邓华鲜获国家专利权
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龙图腾网获悉乐山希尔电子股份有限公司申请的专利一种导热导电功率模块的制备工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119419123B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411452464.6,技术领域涉及:H01L21/48;该发明授权一种导热导电功率模块的制备工艺是由邓华鲜设计研发完成,并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种导热导电功率模块的制备工艺在说明书摘要公布了:本发明公开了一种导热导电功率模块的制备工艺,涉及半导体技术领域,包括:1:对铝散热器上的喷涂区域进行一次喷砂处理;2:在喷涂区域喷涂第一覆铜层;3:在第一覆铜层上进行二次喷砂处理;4:在第一覆铜层上喷涂第二覆铜层;5:发射激光照射第二覆铜层,使第二覆铜层的表面软化,在第二覆铜层上喷涂第三覆铜层,得到导热导电镀铜层;6:利用定向高频磁场消除导热导电镀铜层的内部应力;7:在导热导电镀铜层上直接安装芯片,得到导热导电功率模块。该工艺采用喷砂与冷喷涂交替进行,并增加了软化铜粉和消除应力的工序,不仅能消除镀铜层的内部应力和减少孔隙,还能增加镀铜层与铝散热器之间、以及铜粉颗粒之间的结合力。
本发明授权一种导热导电功率模块的制备工艺在权利要求书中公布了:1.一种导热导电功率模块的制备工艺,其特征在于,包括以下步骤: 步骤S1:在铝散热器的平面上选定喷涂区域,并采用喷砂设备在喷涂区域进行一次喷砂处理,使喷涂区域的表面粗糙度达到80-100μm; 步骤S2:以铜粉为原料,利用低压冷喷涂设备在喷涂区域形成厚度为10-800μm的第一覆铜层; 步骤S3:采用喷砂设备在第一覆铜层上进行二次喷砂处理,使第一覆铜层的表面粗糙度达到60-80μm; 步骤S4:利用低压冷喷涂设备在第一覆铜层上形成厚度为10-600μm的第二覆铜层; 步骤S5:以恒定移动速度控制半导体激光发射器发射激光照射第二覆铜层,使第二覆铜层的表面软化,并使低压冷喷涂设备跟随半导体激光发射器的移动轨迹,在表面软化的第二覆铜层上形成厚度为10-400μm的第三覆铜层,将第三覆铜层打磨平整后,即在铝散热器上得到由第一覆铜层、第二覆铜层和第三覆铜层组成的导热导电镀铜层; 步骤S6:准备高频脉冲发生器、强磁棒、N极线圈和S极线圈,将N极线圈和S极线圈分别固定在两根相间隔的强磁棒上,将高频脉冲发生器与N极线圈和S极线圈相连,启动高频脉冲发生器,在强磁棒之间形成定向高频磁场,将步骤S5得到的导热导电镀铜层放入到定向高频磁场中,利用定向高频磁场消除导热导电镀铜层的内部应力; 步骤S7:在导热导电镀铜层上直接安装芯片,并通过锡膏烧结使芯片固定在铝散热器上,完成后即得到芯片通过导热导电镀铜层与铝散热器电连接的导热导电功率模块。
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