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龙图腾网获悉北京大学深圳研究生院;深圳市大族半导体装备科技有限公司申请的专利一种空间阵列化UV LED光源及AI时域化控制光刻方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119472181B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411294580.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种空间阵列化UV LED光源及AI时域化控制光刻方法是由韩子娟;陆磊;尹建刚;王云萍;王帆帆;张盛东设计研发完成，并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种空间阵列化UV LED光源及AI时域化控制光刻方法在说明书摘要公布了：本发明实施例公开了一种空间阵列化UVLED光源及AI时域化控制光刻方法，涉及光刻技术领域。所述方法包括：获取掩膜板文件，对所述掩膜板文件进行分解，得到多个基本图案；基于预设的基本图案算法数据库，分别获取所述掩膜板文件的多个所述基本图案对应的多个UVLED灯珠控制算法，组成初始空间阵列化UVLED光源控制算法；基于预设的神经网络，通过机械学习的方式对所述初始空间阵列化UVLED光源控制算法进行优化，得到人工智能光源‑掩膜联合优化算法；基于所述人工智能光源‑掩膜联合优化算法控制所述空间阵列化UVLED光源透过所述掩膜板向晶圆曝光。本发明相比于传统光刻方法，具有计算量小，且产品良率高的技术效果。

本发明授权一种空间阵列化UV LED光源及AI时域化控制光刻方法在权利要求书中公布了：1.一种AI时域化控制光刻方法，其特征在于，光刻设备包括空间阵列化UVLED光源以及掩膜板，所述方法包括： 获取掩膜板文件，对所述掩膜板文件进行分解，得到多个基本图案； 基于预设的基本图案算法数据库，分别获取所述掩膜板文件的多个所述基本图案对应的多个UVLED灯珠控制算法，组成初始空间阵列化UVLED光源控制算法； 基于预设的神经网络，通过机械学习的方式对所述初始空间阵列化UVLED光源控制算法进行优化，得到人工智能光源-掩膜联合优化算法； 基于所述人工智能光源-掩膜联合优化算法控制所述空间阵列化UVLED光源透过所述掩膜板向晶圆曝光； 其中，所述基于预设的基本图案算法数据库，分别获取多个所述基本图案对应的多个UVLED灯珠控制算法，包括： 判断所述基本图案算法数据库中是否存在所述基本图案对应的UVLED灯珠控制算法： 若所述基本图案算法数据库中存在所述基本图案对应的UVLED灯珠控制算法，从所述基本图案算法数据库中读取所述基本图案对应的UVLED灯珠控制算法； 若所述基本图案算法数据库中不存在所述基本图案对应的UVLED灯珠控制算法，将所述基本图案拆分为多个子图案，其中，所述基本图案算法数据库中存在所述子图案对应的UVLED灯珠控制算法； 从所述基本图案算法数据库中读取多个所述子图案对应的多个UVLED灯珠控制算法，组成所述基本图案的UVLED灯珠控制算法。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京大学深圳研究生院;深圳市大族半导体装备科技有限公司，其通讯地址为：518055 广东省深圳市南山区丽水路2199号北京大学深圳研究生院；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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