江西兆驰半导体有限公司张星星获国家专利权
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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种高压LED芯片及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119486390B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411703496.9,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权一种高压LED芯片及其制备方法是由张星星;汪恒青;胡加辉;金从龙设计研发完成,并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高压LED芯片及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高压LED芯片及其制备方法,制备方法包括:对外延层远离衬底的一侧涂覆正性光刻胶;提供第一掩膜版,调整第一掩膜版的位置,使第一掩膜版的透光区与非桥接区的预设位置相对应,进行曝光处理,使非桥接区形成具有陡直角度的倾斜面;提供第二掩膜版,所述第二掩膜版具有多个不同尺寸的透光区,调整第二掩膜版的位置,使第二掩膜版的透光区与桥接区的预设位置相对应,利用第二掩膜版的多个不同尺寸的透光区进行n次光刻,使桥接区形成具有平缓角度的倾斜面,其中,n≥1且为整数;进行显影处理、刻蚀处理。实施本发明的制备方法,有效增加了发光面积,同时又利于电极桥接,使得到的高压LED芯片具有良好的发光效率和发光亮度。
本发明授权一种高压LED芯片及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高压LED芯片的制备方法,其特征在于,包括: 在衬底上设置外延层,所述外延层至少包括N型半导体、量子阱和P型半导体; 对外延层进行蚀刻以露出N型半导体层,形成切割道; 在切割道位置处进行光刻、刻蚀处理,形成隔离槽,所述隔离槽包括非桥接区和桥接区; 其中,所述在切割道位置处进行光刻、刻蚀处理,形成隔离槽,包括: 1对外延层远离衬底的一侧涂覆正性光刻胶; 2提供第一掩膜版,调整第一掩膜版的位置,使第一掩膜版的透光区与非桥接区的预设位置相对应,进行曝光处理,使非桥接区形成具有陡直角度的倾斜面; 3提供第二掩膜版,调整第二掩膜版的位置,使第二掩膜版的透光区与桥接区的预设位置相对应,所述第二掩膜版的透光区具有多个不同尺寸的子透光区,利用第二掩膜版的多个不同尺寸的子透光区进行n次光刻,使桥接区形成具有平缓角度的倾斜面,其中,n≥1且为整数; 4进行显影处理,形成角度陡直的非桥接结构和角度平缓的桥接结构; 5进行刻蚀处理,形成角度陡直的非桥接区和角度平缓的桥接区。
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