买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海大族富创得科技股份有限公司;浙江大族富创得科技有限公司申请的专利一种SiC外延衬底传送方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542218B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411737275.3，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种SiC外延衬底传送方法是由王俊森;李博;肖志成;刘思远设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种SiC外延衬底传送方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，尤其是指一种SiC外延衬底传送方法，分别采用寻边器、纠偏平台和合并拆分模组对晶圆、石墨环和石墨环进行单独定位寻边，采用合并拆分模组和机械手完成石墨环与晶圆或石墨盘的合并与拆分，机械手将合并后晶圆、石墨环和石墨盘转移至外延生长环境；本发明使得晶圆、石墨环和石墨盘均能够独立完成寻边纠偏，机械手执行固定的抓取或放置晶圆、石墨环或石墨盘的动作即可，能够精准实现石墨环与晶圆或石墨盘合并或拆分，实现晶圆精准定位，通过机械手将合并后晶圆、石墨环和石墨盘的整体转移至外延生长环境，保证晶圆加工质量。

本发明授权一种SiC外延衬底传送方法在权利要求书中公布了：1.一种SiC外延衬底传送方法，其特征在于，包括以下步骤： S01、设置有寻边器3，寻边器3设置有第一定位基准，寻边器3按照第一定位基准对晶圆01进行寻边纠偏，以确定晶圆01的位置和角度； S02、设置有纠偏平台4，纠偏平台4设置有第二定位基准，纠偏平台4按照第二定位基准对石墨盘03进行寻边纠偏，以确定石墨盘03的位置和角度； S03、设置有合并拆分模组5，合并拆分模组5设置有第三定位基准，合并拆分模组5按照第三定位基准对石墨环02进行寻边纠偏，以确定石墨环02的位置和角度； S04、采用机械手2抓取晶圆01并放置于合并拆分模组5，以使得晶圆01与石墨环02的圆心位置和斜边朝向一致，采用合并拆分模组5将晶圆01与石墨环02合并； S05、采用机械手2抓取石墨盘03并放置于合并拆分模组5，以使得石墨盘03与石墨环02的圆心位置和斜边朝向一致，采用合并拆分模组5将石墨盘03与石墨环02合并，采用机械手2将合并后的晶圆01、石墨环02和石墨盘03放入外延生长环境； S06、采用机械手2将合并状态的晶圆01、石墨环02和石墨盘03从外延生长环境取出并放置于合并拆分模组5； S07、采用合并拆分模组5将石墨盘03与石墨环02分离，采用机械手2将石墨盘03放置于纠偏平台4寻边，使得石墨环02被支撑于合并拆分模组5； S08、在步骤S07中，设置有装载箱1，采用合并拆分模组5将晶圆01与石墨环02分离，采用机械手2将与石墨环02分离的晶圆01装入装载箱1； S09、在步骤S07中，设置有用于存储石墨环02和石墨盘03的组合的盘环放置箱6，采用机械手2将纠偏平台4处的石墨盘03装入合并拆分模组5，采用合并拆分模组5将石墨盘03与石墨环02合并，采用机械手2将合并的石墨盘03与石墨环02装入盘环放置箱6。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海大族富创得科技股份有限公司;浙江大族富创得科技有限公司，其通讯地址为：201112 上海市闵行区万芳路555号1幢1层102室、2层202室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。