中山市博测达电子科技有限公司欧海辉获国家专利权
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龙图腾网获悉中山市博测达电子科技有限公司申请的专利一种八面AOI检测设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119560410B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411637753.3,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种八面AOI检测设备是由欧海辉;江建宇;高停;彭大振设计研发完成,并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种八面AOI检测设备在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆检测技术领域,具体为一种八面AOI检测设备,包括机台,所述机台表面的一端安装有晶圆供料机构,所述机台的表面安装有转盘机构,所述机台表面且位于转盘机构的外侧沿逆时针方向依次安装有产品矫正CCD引导组件、自动矫正组件、Die表面及金线AOI检测组件、转向矫正模组、底部长边AOI检测组件以及底部短边AOI检测组件。本发明提高了自动化程度,在检测过程中不需要人工辅助操作,便于晶圆的取料工作,因此降低了晶圆检测时的劳动强度,提高了工作效率;而且由于整个检测过程皆由机器自动完成,中间不存在人工操作,因此不会出现漏检工作,同时检测的不良品直接排出,不会发生不良品混线流入下一工序的现象,从而增加了晶圆检测时的良品率。
本发明授权一种八面AOI检测设备在权利要求书中公布了:1.一种八面AOI检测设备,包括机台1,其特征在于:所述机台1表面的一端安装有晶圆供料机构2,该晶圆供料机构2用于晶圆产品的供料上料工作;所述机台1的表面安装有转盘机构3,该转盘机构3用于承接晶圆供料机构2搬运而来的晶圆产品并对其进行各工位间的搬运工作;所述机台1表面且位于转盘机构3的外侧沿逆时针方向依次安装有产品矫正CCD引导组件5、自动矫正组件6、Die表面及金线AOI检测组件7、转向矫正模组8、底部长边AOI检测组件9以及底部短边AOI检测组件10;所述机台1的表面安装有分废料组件12,该分废料组件12用于对晶圆产品的分废料工作;所述机台1表面且远离晶圆供料机构2的一端安装有NG摆盘机构11,该NG摆盘机构11用于对晶圆产品检测后不良品的摆盘下料工作;所述机台1的表面安装有托盘上料机构4,该托盘上料机构4用于对晶圆产品检测后良品的托盘出料工作; 所述晶圆供料机构2包括有供料架21、提篮升降组件22、扫码枪23、晶圆扩摸工作台24以及移栽机械手25,所述供料架21固接在机台1的表面,所述机台1表面且位于供料架21的一侧安装有提篮升降组件22,该提篮升降组件22用于晶圆产品的储料及抬升工作; 所述托盘上料机构4是由良品托盘架41、托盘约束组件42以及移栽抬升模组43组成,所述良品托盘架41固接在机台1的表面,且良品托盘架41的顶端安装有两组托盘约束组件42,该托盘约束组件42用于对托盘放置时的限位工作;所述良品托盘架41的底部安装有移栽抬升模组43,该移栽抬升模组43用于对两组托盘约束组件42中的托盘的提升工作。
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