买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海大族富创得科技股份有限公司;浙江大族富创得科技有限公司申请的专利一种SiC外延拆分检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119560433B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411736756.2，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种SiC外延拆分检测方法及系统是由王俊森;李博;肖志成;刘思远设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种SiC外延拆分检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，尤其是指一种SiC外延拆分检测方法及系统，本发明顺利从外延生长环境中取出合并的晶圆、石墨环和石墨盘，通过纠偏平台和合并拆分模组分别独立完成对石墨盘和石墨环的寻边纠偏，节省大量机械手、寻边器、纠偏平台及合并拆分模组之间的基准校准时间，降低设备计算复杂度，有效提升晶圆定位效率；然后将石墨盘和石墨环进行合并、清洁及存储，利于后续加工中的正常使用；通过设置的激光传感器，自动检测晶圆是否顺利脱离石墨环，减少人工导致的晶圆定位误差，以确保晶圆加工的精确性和效率，提高晶圆处理的自动化水平和产品质量。

本发明授权一种SiC外延拆分检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种SiC外延拆分检测方法，其特征在于，包括以下步骤： S01、设置有合并拆分模组1和机械手3，采用机械手3将合并的晶圆01、石墨环02和石墨盘03从外延生长环境取出，并放入合并拆分模组1； S02、设置有纠偏平台7，纠偏平台7设置有第三定位基准，采用合并拆分模组1使石墨盘03与石墨环02分离，采用机械手3将石墨盘03放入纠偏平台进行寻边纠偏，以使得石墨盘03按照第三定位基准确定自身的位置和角度； S03、设置有激光传感器100，采用合并拆分模组1将石墨环02与晶圆01拆分分离，并使得晶圆01向远离石墨环02的方向移动，采用激光传感器100检测晶圆01是否脱离石墨环02； S04、合并拆分模组1设置有第二定位基准，合并拆分模组1按照第二定位基准对石墨环02进行寻边纠偏，以使得石墨环02按照第二定位基准确定自身的位置和角度； S05、采用机械手3将石墨盘03放入合并拆分模组1，采用合并拆分模组1将石墨盘03与石墨环02合并，以使得石墨盘03与石墨环02的圆心位置和角度信息一致； S06、设置有清洁机构5和盘环放置箱6，采用机械手3将合并的石墨盘03和石墨环02放入清洁机构5进行清洁除尘，采用机械手3从清洁机构5取走清洁除尘后的合并的石墨盘03和石墨环02，并将合并的石墨盘03和石墨环02放入盘环放置箱6。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海大族富创得科技股份有限公司;浙江大族富创得科技有限公司，其通讯地址为：201112 上海市闵行区万芳路555号1幢1层102室、2层202室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。