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龙图腾网获悉北京理工大学重庆微电子研究院申请的专利MEMS法布里-珀罗滤波器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119620379B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411771060.3，技术领域涉及：G02B26/00；该发明授权MEMS法布里-珀罗滤波器及其制备方法是由李易;焦文龙;江超;李美荣;姜森林;谢会开设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本MEMS法布里-珀罗滤波器及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及滤波技术领域，具体涉及一种MEMS法布里‑珀罗滤波器及其制备方法，滤波器包括支撑框架；上极板；第一反射层和第二反射层，均设于支撑框架内且始终彼此平行，用以共同限定法布里‑珀罗谐振腔；驱动组件连接在上极板与支撑框架之间，驱动组件中设有驱动单元；驱动单元由伸缩层和至少一个第一电热层组合形成，伸缩层包括第二电热层、电阻层、位于电阻层与第二电热层之间的第一绝缘层，以及位于电阻层背离第二电热层一侧的第二绝缘层；第一电热层的热膨胀系数小于第二电热层的热膨胀系数，至少一个第一电热层贴合设置于第二电热层和或第二绝缘层上。该电热驱动结构可实现滤波器小型化，结构简化，整体体积和重量降低，器件可靠性高。

本发明授权MEMS法布里-珀罗滤波器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS法布里-珀罗滤波器，其特征在于，包括： 支撑框架； 上极板； 第一反射层和第二反射层，均设于所述支撑框架内且始终彼此平行，用以共同限定法布里-珀罗谐振腔；所述第一反射层设于所述上极板，所述上极板能够始终与所述第二反射层彼此平行地移动； 驱动组件，连接在所述上极板与所述支撑框架之间，所述驱动组件中设有驱动单元； 所述驱动单元由伸缩层和至少一个第一电热层组合形成，所述伸缩层包括第二电热层、电阻层、位于所述电阻层与所述第二电热层之间的第一绝缘层，以及位于所述电阻层背离所述第二电热层一侧的第二绝缘层； 所述第一电热层的热膨胀系数小于所述第二电热层的热膨胀系数，所述至少一个第一电热层配置为贴合设置于所述第二电热层和或所述第二绝缘层上，以使所述第二电热层在所述电阻层的电场变化后，或伸长并带动所述至少一个第一电热层朝该第一电热层所在侧方向的反方向弯曲，或缩短并带动所述至少一个第一电热层朝该第一电热层所在侧方向弯曲，从而驱动所述上极板背离或朝向所述第二反射层平移以改变所述法布里-珀罗谐振腔的大小。

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