隆兴抛光材料(东莞)有限公司张细红获国家专利权
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龙图腾网获悉隆兴抛光材料(东莞)有限公司申请的专利一种高效环保的化学抛光液及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119662133B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411845993.2，技术领域涉及：C09G1/02；该发明授权一种高效环保的化学抛光液及其制备方法是由张细红设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高效环保的化学抛光液及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及抛光液技术领域，具体涉及一种高效环保的化学抛光液及其制备方法。所述化学抛光液包括如下重量百分数的原料：5％‑8％纳米金属磨料、2％‑4％氧化硅磨料、2％‑10％氧化剂、1％‑5％络合剂、0.05％‑0.5％缓蚀剂，其余为去离子水；还包括pH调节剂，采用pH调节剂将所述化学抛光液的pH调节为7.5‑8.5。本发明的化学抛光液采用环保原料，用于单晶硅片的精密加工表现出良好的抛光效果，材料去除效率高，且抛光后的硅片表面光滑无损伤。
本发明授权一种高效环保的化学抛光液及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高效环保的化学抛光液，其特征在于：包括如下重量百分数的原料：5％-8％纳米金属磨料、2％-4％氧化硅磨料、2％-10％氧化剂、1％-5％络合剂、0.05％-0.5％缓蚀剂、0.01％-0.3％表面活性剂，其余为去离子水；还包括pH调节剂，采用pH调节剂将所述化学抛光液的pH调节为7.5-8.5； 所述纳米金属磨料是由质量比为1：0.5-0.7的纳米氧化铈和纳米氧化铝组合而成； 所述纳米氧化铈为掺杂稀土金属离子的氧化铈，稀土金属离子为La、Pr或Sm； 所述纳米氧化铝为表面设有氧化硅包覆层的纳米氧化铝； 所述络合剂是由质量比为1.5-2:1的甘氨酸和邻苯二甲酸氢钾组合而成； 所述缓蚀剂是由质量比为2-3:1的1,2,4-三氮唑和聚乙烯吡咯烷酮组合而成； 所述表面活性剂是由质量比为1:1-1.2的十二烷基三甲基溴化铵和脂肪醇聚氧乙烯醚组合而成。
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