南京大学范克彬获国家专利权
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龙图腾网获悉南京大学申请的专利基于微机械的动态可调的波束偏转器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119674552B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411767251.2,技术领域涉及:H01Q15/00;该发明授权基于微机械的动态可调的波束偏转器件及其制备方法是由范克彬;刘澳旋;金飚兵;吴敬波;张彩虹;陈健设计研发完成,并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于微机械的动态可调的波束偏转器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了基于微机械的动态可调的波束偏转器件及其制备方法,涉及电磁波波束偏转技术领域,包括若干呈矩阵排列的波束偏转组件,波束偏转组件由超表面层与硅片层构成,且超表面层设置在硅片层的底部,超表面层包括设置在硅片层底部的聚酰亚胺衬底,聚酰亚胺衬底的一侧设置有背板金,聚酰亚胺衬底的内部设置有十字结构件,聚酰亚胺衬底远离背板金的一侧设置有金谐振层结构边框。本发明器件结构简单,制备工艺简单,波束调控效率高,且器件的工作状态切换速度快、切换方式简单,能够通过简单操作即可实现快速的波束调控开启与关闭,后续可拓展性强,在波束调控领域有较好的应用前景。
本发明授权基于微机械的动态可调的波束偏转器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.基于微机械的动态可调的波束偏转器件,包括若干呈矩阵排列的波束偏转组件1,其特征在于,所述波束偏转组件1由超表面层101与硅片层102构成,且所述超表面层101设置在所述硅片层102的底部; 所述超表面层101包括设置在所述硅片层102底部的聚酰亚胺衬底1011,所述聚酰亚胺衬底1011的一侧设置有背板金1012,所述聚酰亚胺衬底1011的内部设置有十字结构件1013,所述聚酰亚胺衬底1011远离所述背板金1012的一侧设置有金谐振层结构边框1014; 将所述背板金1012侧贴在压电位移台上,固定所述硅片层102,通过压电位移台改变所述超表面层101位置,实现所述硅片层102与所述超表面层101间纵向距离的移动。
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