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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利保持环修整装置、化学机械抛光单元及其控制方法和化学机械抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119704044B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510148714.5，技术领域涉及：B24B37/34；该发明授权保持环修整装置、化学机械抛光单元及其控制方法和化学机械抛光设备是由李润豪;刘鑫博;张洪蛟;王科设计研发完成，并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本保持环修整装置、化学机械抛光单元及其控制方法和化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种保持环修整装置、化学机械抛光单元及其控制方法和化学机械抛光设备，该装置包括基座、修整盘、检测件和控制器；修整盘，设置在基座的一侧，用于在抛光头带动保持环移动至保持环的被磨削面抵接在修整盘远离基座的侧面后，且在抛光头带动保持环相对于修整盘绕保持环的轴线转动的过程中，对保持环的被磨削面进行磨削修整；检测件，设置在基座上，用于在修整盘对保持环进行磨削修整的过程中，检测得到保持环的被磨削面的形状数据；控制器，用于在确定形状数据满足用于指示保持环的被磨削面形状正常的目标条件后，控制抛光头停止带动保持环相对于修整盘转动，以使修整盘对保持环进行的磨削修整结束。本方案可以节省资源。

本发明授权保持环修整装置、化学机械抛光单元及其控制方法和化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种保持环修整装置，其特征在于，包括： 修整盘，设置在基座的一侧，包括承载盘和至少一个修整块，承载盘与基座连接，承载盘厚度方向相对的两个侧面为圆环状面，承载盘的一个圆环状面与基座抵接，修整块连接在承载盘远离基座的圆环状面上，用于在化学机械抛光单元的抛光头带动保持环移动至保持环远离抛光头的被磨削面抵接在修整块远离承载盘的侧面后，且在抛光头带动保持环相对于修整块绕保持环的轴线转动的过程中，对保持环的被磨削面进行磨削修整； 检测件，设置在基座靠近承载盘的位置，与控制器电连接，用于在修整盘对保持环进行磨削修整的过程中，通过承载盘上开设的沿厚度方向贯穿承载盘的检测开口检测得到保持环的被磨削面的形状数据，并向控制器发送形状数据； 控制器，用于接收形状数据，并在确定形状数据满足用于指示保持环的被磨削面形状正常的目标条件后，控制抛光头停止带动保持环相对于修整盘转动，以使修整盘对保持环进行的磨削修整结束。

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