中国科学院半导体研究所金鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院半导体研究所申请的专利用于深紫外光路中的杂散光抑制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119717264B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411915393.9，技术领域涉及：G02B27/00；该发明授权用于深紫外光路中的杂散光抑制系统是由金鹏;王占国设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于深紫外光路中的杂散光抑制系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种用于深紫外光路中的杂散光抑制系统，涉及深紫外光学技术领域，用以解决现有技术难以有效抑制深紫外光学系统中产生杂散光的技术问题。该系统包括：长光路单元，长光路单元设有光束通道，用于传输深紫外光束，其中，光束通道贯穿于长光路单元设置，深紫外光束的光程长度大于等于光束直径的100倍；杂散光抑制单元，设于光束通道上，用于抑制深紫外光束中的杂散光，其中，杂散光抑制单元包括平片滤光单元、棱镜偏转单元和光阑单元中的至少一种。该系统可以有效降低深紫外激光中的杂散光成分，提高深紫外光学系统的信噪比。
本发明授权用于深紫外光路中的杂散光抑制系统在权利要求书中公布了：1.一种用于深紫外光路中的杂散光抑制系统，其特征在于，所述系统包括： 长光路单元，所述长光路单元设有光束通道，用于传输深紫外光束，其中，所述光束通道贯穿于所述长光路单元设置，所述深紫外光束的光程长度大于等于光束直径的100倍； 杂散光抑制单元，设于所述光束通道上，用于抑制所述深紫外光束中的杂散光，其中，所述杂散光抑制单元包括平片滤光单元、棱镜偏转单元和光阑单元中的至少一种。
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