上海佳地喷雾系统有限公司周青云获国家专利权
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龙图腾网获悉上海佳地喷雾系统有限公司申请的专利一种CrAlTiSiN涂层及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119776779B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510052584.5,技术领域涉及:C23C14/34;该发明授权一种CrAlTiSiN涂层及其制备方法是由周青云;蓝龙华;尹维娜设计研发完成,并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CrAlTiSiN涂层及其制备方法在说明书摘要公布了:本公开涉及一种CrAlTiSiN涂层及其制备方法,该包括以下步骤:S1.在镀膜室内通入N2,启动Cr靶,在基片上沉积CrN过渡层;S2.继续通入N2,关闭Cr靶,启动Cr50Al50靶和TiSi靶,在N2流量为100至300sccm条件下在所述基片上沉积CrAl和TiSi以获得CrAlTiSiN涂层;其中,所述Cr50Al50靶的偏压为‑100至‑90V,电流为110至130A;所述TiSi靶的偏压为‑120至‑100V,电流为80至160A。当制备获得的CrAlTiSiN涂层中Ti=16.41at.%、Si=5.70at.%时,CrAlTiSiN涂层结晶性最好、组织结构最致密,CrAlTiSiN涂层的硬度、弹性模量和断裂韧性均被提高,测量值分别为35.9GPa、294.1GPa和1.53MPa·m12,涂层的内应力为‑0.34GPa,涂层的腐蚀电位向正向移动,腐蚀电流密度值为1.60×10‑8A·cm‑2,表明CrAlTiSiN涂层具有最佳的耐蚀性。
本发明授权一种CrAlTiSiN涂层及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种CrAlTiSiN涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1.在镀膜室内通入N2,启动Cr靶,在基片上沉积CrN过渡层; S2.继续通入N2,关闭Cr靶,启动Cr50Al50靶和TiSi靶,在N2流量为200sccm条件下在所述基片上沉积CrAl和TiSi以获得CrAlTiSiN涂层; 其中,步骤S2中,所述Cr50Al50靶的偏压为-80V,电流为120A;所述TiSi靶的偏压为-100V,电流为140A,沉积时间为30min;控制所述Ti的含量为16.41at.%,所述Si的含量为5.70at.%。
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