中国科学院西安光学精密机械研究所陈泽宇获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院西安光学精密机械研究所申请的专利空气折射率自修正三频激光干涉仪及波前像差检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119779633B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411894500.4,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权空气折射率自修正三频激光干涉仪及波前像差检测方法是由陈泽宇;薛勋;贺益凡;常宁设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本空气折射率自修正三频激光干涉仪及波前像差检测方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种空气折射率自修正三频激光干涉仪及其干涉检测方法,解决了对于大口径光学系统的波前像差检测方法,耗时长、测量成本高的问题。本发明提供的一种空气折射率自修正三频激光干涉仪及其干涉检测方法,分别计量一倍频激光、二倍频激光及四倍频激光测量对应参考镜和待测镜各空间位置之间的光程差,能够构建仅由一倍频激光、二倍频激光和四倍频波长决定的校正因子,进而得到待测镜各个空间位置的波前像差,实现空气折射率自修正的大口径光学系统波前检测,其检测时间短,成本低,操作简便且检测精度高。
本发明授权空气折射率自修正三频激光干涉仪及波前像差检测方法在权利要求书中公布了:1.一种空气折射率自修正三频激光干涉仪,其特征在于: 包括三频产生模块19、干涉模块20及信号接收模块21; 所述三频产生模块19用于向干涉模块20出射由一倍频激光、二倍频激光和四倍频激光合束形成的I0方向线偏振三频合束激光; 所述干涉模块20包括第二分束器9、参考镜10、第一四分之一波片11、第二四分之一波片13、光栅14及偏振片阵列15;所述第二分束器9与三频产生模块19的出射端对应,参考镜10和第二分束器9沿远离第二分束器9的方向依次设置在第二分束器9的透射侧光路上;所述第一四分之一波片11远离参考镜10的一侧用于设置待测镜12;所述第二四分之一波片13、光栅14及偏振片阵列15沿远离第二分束器9的方向依次设置在第二分束器9的反射侧光路上;所述第二分束器9用于将所述I0方向线偏振三频合束激光透射至参考镜10后,一部分被参考镜10反射,另一部分被参考镜10透射后经第一四分之一波片11旋光后到达待测镜12,又被待测镜12反射后,经第一四分之一波片11再次旋光,形成I1方向线偏振三频合束激光,再被参考镜10透射后与被参考镜10反射的I0方向线偏振三频合束激光合束,形成I01激光;I01激光经第二分束器9反射至第二四分之一波片13,而后经光栅14分为多束不同相位的I01分光,偏振片阵列15改变每束I01分光的偏振状态后各自干涉,则每束I01分光均包括一倍频干涉光、二倍频干涉光和四倍频干涉光;I1方向与I0方向的差值为90°; 所述信号接收模块21的入射端与偏振片阵列15的出射端对应,用于接收所有一倍频干涉光、二倍频干涉光和四倍频干涉光,并将其在空间上分离,而后分别进行探测,获取第一探测信息、第二探测信息和第三探测信息。
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