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龙图腾网获悉上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利一种晶圆批量传输方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119812077B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510302390.6，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆批量传输方法及系统是由倪萌;周太君;李宏伟;陈垒设计研发完成，并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆批量传输方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，尤其是指一种晶圆批量传输方法及系统，包括机架、设置于机架并用于分别放置两个晶圆盒的第一放置位和第二放置位、用于保持晶圆的第一承载座和第二承载座、用于带动机架上下移动的升降机构及用于带动第一承载座和第二承载座相互靠近或者远离的平移机构，所述第一承载座和第二承载座分别对应第一放置位和第二放置位；本发明能够使晶圆并列，自动实现晶圆批量转移，避免人工操作存在的效率低、主观性强及误差率高等情况的发生，提升晶圆传输效率。

本发明授权一种晶圆批量传输方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆批量传输方法，其特征在于，包括机架1、设置于机架1并用于分别放置一个晶圆盒的第一放置位101和第二放置位102、用于保持晶圆的第一承载座2和第二承载座3、用于带动机架1上下移动的升降机构4及用于带动第一承载座2和第二承载座3相互靠近或者远离的平移机构5，所述第一承载座2和第二承载座3分别对应第一放置位101和第二放置位102；该晶圆批量传输方法步骤如下： S01、当需要取出并合并两个晶圆盒内的晶圆，采用升降机构4带动机架1移动，使得第一承载座2和第二承载座3均位于机架1下方； S02、采用机械手将均装有晶圆的晶圆盒分别放置于第一放置位101和第二放置位102，使升降机构4带动机架1相对第一承载座2和第二承载座3下降，使第一承载座2和第二承载座3沿晶圆盒的底端开口伸入晶圆盒，使得晶圆盒内的晶圆分别通过第一承载座2和第二承载座3保持； S03、采用升降机构4继续带动机架1相对第一承载座2和第二承载座3下降，使得第一承载座2和第二承载座3高于晶圆盒顶端开口处，采用平移机构5带动第一承载座2和第二承载座3靠拢，以使得第一承载座2和第二承载座3上的晶圆并列，以便于机械手批量转移合并后的晶圆整体； S04、当需要将合并的晶圆整体装入两个晶圆盒，采用升降机构4带动机架1相对第一承载座2和第二承载座3下降，使得第一承载座2和第二承载座3高于晶圆盒的顶端开口处，采用平移机构5带动第一承载座2和第二承载座3靠拢； S05、采用机械手将合并的晶圆装入第一承载座2和第二承载座3，使得第一承载座2和第二承载座3分别保持一半数量的晶圆，将机械手远离第一承载座2和第二承载座3，平移机构5带动第一承载座2和第二承载座3相互远离，使得第一承载座2和第二承载座3分别位于晶圆盒的开口端处； S06、采用升降机构4带动机架1相对第一承载座2和第二承载座3上升，使得第一承载座2和第二承载座3上的晶圆分别被两个晶圆盒支撑，使得两个二十五片晶圆合并为五十片； 所述平移机构5采用反向同步双滑座模组，所述平移机构5的两个输出端分别连接有第一支撑杆51和第二支撑杆52，所述第一支撑杆51和第二支撑杆52分别与第一承载座2和第二承载座3连接； 所述第一承载座2与第一支撑杆51之间设置有第一容置空间511，所述第二承载座3与第二支撑杆52之间设置有第二容置空间521； 当第一承载座2和第二承载座3高于晶圆盒顶端开口处，平移机构5带动第一承载座2和第二承载座3靠拢，使得其中一个晶圆盒的一端伸入第一容置空间511，并且另一个晶圆盒的一端伸入第二容置空间521； 所述第一支撑杆51通过第一转动单元53与平移机构5的其中一个输出端连接，所述第二支撑杆52通过第二转动单元54与平移机构5的另一个输出端连接； 当需要将第一承载座2上的晶圆翻面时，升降机构4带动机架1相对于第一承载座2下降，第一承载座2露出对应晶圆盒开口端处，第一转动单元53带动第一支撑杆51转动，以使得第一承载座2上的晶圆旋转180°角度； 当需要将第二承载座3上的晶圆翻面时，升降机构4带动机架1相对于第二承载座3下降，第二承载座3露出对应晶圆盒开口端处，第二转动单元54带动第二支撑杆52转动，以使得第二承载座3上的晶圆旋转180°角度。

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