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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利机台载具平整度量测方法及装置、存储介质和终端获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119826746B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510026063.2，技术领域涉及：G01B15/08；该发明授权机台载具平整度量测方法及装置、存储介质和终端是由徐振设计研发完成，并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本机台载具平整度量测方法及装置、存储介质和终端在说明书摘要公布了：本发明公开了一种机台载具平整度量测方法及装置、存储介质和终端，其中方法包括获取标准晶圆平放于待测机台载具上时量测得到的聚焦数据集合，聚焦数据集合包括多个聚焦数据组，每个聚焦数据组均包括一个标定点对中两个标定点的标定聚焦数据，标准晶圆边缘设置有多个具有不同位置信息的标定点对，每个标定点对中的两个标定点均位于标准晶圆上一直径两端；基于聚焦数据集合中每个聚焦数据组获取对应的高度差数据，并基于所有聚焦数据组所对应的高度差数据获取所待测机台载具的倾斜度数据。实现对晶圆载具进行准确且快速的平整度量测过程。

本发明授权机台载具平整度量测方法及装置、存储介质和终端在权利要求书中公布了：1.一种机台载具平整度量测方法，包括： 获取标准晶圆平放于待测机台载具上时量测得到的聚焦数据集合，所述聚焦数据集合包括多个聚焦数据组，每个所述聚焦数据组均包括一个标定点对中两个标定点的标定聚焦数据，所述标准晶圆边缘设置有多个具有不同位置信息的标定点对，每个所述标定点对中的两个标定点均位于所述标准晶圆上一直径两端； 基于所述聚焦数据集合中每个所述聚焦数据组获取对应的高度差数据，基于所有所述聚焦数据组所对应的所述高度差数据获取所述待测机台载具的倾斜度数据； 其中，所述标准晶圆的拱变量为零，且所有所述标定聚焦数据均由预设电子显微镜量测获取； 基于所有所述聚焦数据组所对应的所述高度差数据获取所述待测机台载具的倾斜度数据包括： 基于所有所述聚焦数据组所对应的所述高度差数据和所述标定点对的位置信息获取标定点位置-高度差拟合曲线，并获取所述标定点位置-高度差拟合曲线中最大高度差数据作为目标高度差数据，基于所述目标高度差数据获取所述待测机台载具的倾斜度数据； 获取所述标定点位置-高度差拟合曲线中所述目标高度差数据所对应的位置信息作为目标位置信息，基于所述目标高度差数据的正负属性以及所述目标位置信息确定所述待测机台载具的倾斜方向及位置信息。

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