浙江大学刘东获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种基于沃拉斯顿棱镜的载频干涉检测装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119934962B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510122334.4,技术领域涉及:G01B9/02;该发明授权一种基于沃拉斯顿棱镜的载频干涉检测装置及方法是由刘东;曹俊熙;李欣明;彭韶婧;徐兆锐;吴兰设计研发完成,并于2025-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于沃拉斯顿棱镜的载频干涉检测装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于沃拉斯顿棱镜的载频干涉检测装置及方法,利用沃拉斯顿棱镜将参考光与测试光产生微小角度的分离来实现载频,从而避免原本通过待测物体倾斜一定角度引入载频的方法产生的回程误差,实现高精度的载频干涉检测。通过高精度位移台将沃拉斯顿棱镜进行移动,使得该检测装置能够兼容载频干涉检测和常态的斐索干涉检测。本发明通过设计超低回程误差的中继透镜进一步降低干涉检测光路中的回程误差,保证了检测精度。利用本发明,可以有效且高精度的实现待测物体面形的动态载频干涉检测。
本发明授权一种基于沃拉斯顿棱镜的载频干涉检测装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于沃拉斯顿棱镜的载频干涉检测装置,其特征在于,包括干涉测量系统和计算机处理模块; 所述的干涉测量系统中,光纤激光器1发出的光经第一偏振片2后转为线偏振光,经偏振分光棱镜3后分为S偏振光和P偏振光;偏振分光棱镜3出射的S偏振光经第一四分之一波片4后,经第一平面反射镜5反射后再次经第一四分之一波片4转换为P偏振光后入射至第三平面反射镜8;偏振分光棱镜3出射的P偏振光经第二四分之一波片6后,经第二平面反射镜7反射后再次经第二四分之一波片6转换为S偏振光后入射至第三平面反射镜8;第三平面反射镜8反射的P偏振光和S偏振光经扩束镜9与第一消偏振分光棱镜10后,再次经聚焦镜13、第二消偏振分光棱镜14与准直镜15扩束为平行光,然后经标准镜16与待测样品17; 经标准镜16反射的光作为参考光,经待测样品17反射的光作为测试光;两束光再次经准直镜15与第二消偏振分光棱镜14后,一部分经第二成像镜18入射至沃拉斯顿棱镜19,并出射为两束呈一定夹角的光,经1×中继镜组21与第二偏振片22后成像在成像相机23上;另一部分经聚焦镜13和第一消偏振分光棱镜10后,通过第一成像镜11成像在对准相机12; 所述的沃拉斯顿棱镜19安装在高精度位移台20上; 所述的计算机处理模块包括位移控制模块、图像采集模块、干涉图数据分析处理模块;其中,位移控制模块用于控制高精度位移台20进行移动,图像采集模块与成像相机23相连,将数据传输至干涉图数据分析处理模块进行分析处理,得到待测样品17的面形信息。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江大学,其通讯地址为:310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励