买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种适用于半透明晶圆的自动对焦系统和厚度测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119986957B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510141145.1，技术领域涉及：G02B7/28；该发明授权一种适用于半透明晶圆的自动对焦系统和厚度测量系统是由杨青;王智;陈丁晔;金伟正;章岳光设计研发完成，并于2025-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于半透明晶圆的自动对焦系统和厚度测量系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种适用于半透明晶圆的自动对焦系统和厚度测量系统，在自动对焦系统中，包括半透明晶圆、待对焦的物镜、反射镜、激光光源、第一透镜、小孔光阑、可编程液晶器件、准直透镜、第二透镜、第三透镜、第一探测器、第二探测器、以及电机，通过两个探测器的探测光斑实现物镜的精准对焦，在厚度测量系统中，包括半透明晶圆、色散物镜、反射镜、白光光源、消色差透镜、小孔光阑、可编程液晶器件、准直透镜、会聚透镜、狭缝、透镜、以及探测器，通过根据探测器上横向位移量与半透明晶圆厚度之间的映射关系，实现对半透明晶圆未知厚度的测量，无需光谱仪，成本低。

本发明授权一种适用于半透明晶圆的自动对焦系统和厚度测量系统在权利要求书中公布了：1.一种适用于半透明晶圆的自动对焦系统，其特征在于，包括：半透明晶圆、待对焦的物镜、反射镜、激光光源、第一透镜、小孔光阑、可编程液晶器件、准直透镜、第二透镜、第三透镜、第一探测器、第二探测器、以及电机； 激光光源的出射光经过第一透镜准直后，再经过受电机控制调节偏离光轴距离的小孔光阑，使得小孔光阑作为离轴光源出射离轴光束，该离轴光束透过可编程液晶器件后再经准直透镜准直并入射到反射镜，反射镜将入射光反射到物镜并会聚聚焦到半透明晶圆； 当聚焦到半透明晶圆上表面时，经过半透明晶圆上表面的反射光经过物镜准直后再被反射镜反射到第二透镜，经过第二透镜会聚后被第一探测器接收形成光点，同时经过半透明晶圆下表面的反射光经过物镜准直后再被反射镜反射到第三透镜，经过第三透镜会聚后被第二探测器接收形成光斑； 当聚焦到半透明晶圆下表面时，经过半透明晶圆下表面的反射光经过物镜准直后再被反射镜反射到第三透镜，经过第三透镜会聚后被第二探测器接收形成光点，同时经过半透明晶圆上表面的反射光经过物镜准直后再被反射镜反射到第二透镜，经过第二透镜会聚后被第一探测器接收形成光斑； 通过观察光斑或光点来调整物镜，实现物镜对半透明晶圆的对焦。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江大学，其通讯地址为：310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。