盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司张蒙获国家专利权
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龙图腾网获悉盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司申请的专利除电装置、电源连接装置以及半导体加工腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120048713B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510189121.3，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权除电装置、电源连接装置以及半导体加工腔室是由张蒙;金秀宪;朴海允设计研发完成，并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本除电装置、电源连接装置以及半导体加工腔室在说明书摘要公布了：本发明提供一种除电装置、电源连接装置以及半导体加工腔室，其中，所述除电装置包括：空间部，设置于半导体加工腔室的上盖，形成有第一空间以及与所述第一空间连通且位于所述第一空间的上方或侧方的第二空间，所述第一空间用于容纳电源连接块的至少一部分；接触部，可移动地配置于所述第二空间内，并且接地；以及止挡部，设置于所述半导体加工腔室的主体，当所述上盖打开时，所述接触部位于所述第二空间的靠近所述第一空间的一侧，当所述上盖关闭时，以所述空间部为基准，所述接触部被所述止挡部从所述第二空间的靠近所述第一空间的一侧推向所述第二空间的远离所述第一空间的另一侧。
本发明授权除电装置、电源连接装置以及半导体加工腔室在权利要求书中公布了：1.一种除电装置，其用于对设置在半导体加工腔室中的靶材进行除电，其特征在于，包括： 空间部，设置于所述半导体加工腔室的上盖，形成有第一空间以及与所述第一空间连通且位于所述第一空间的上方或侧方的第二空间，所述第一空间用于容纳电源连接块的至少一部分，所述电源连接块连接所述靶材与电源； 接触部，可移动地配置于所述第二空间内，并且接地；以及 止挡部，设置于所述半导体加工腔室的主体， 当所述上盖打开时，所述接触部位于所述第二空间的靠近所述第一空间的一侧，从而与设置于所述第一空间内的所述电源连接块接触， 当所述上盖关闭时，以所述空间部为基准，所述接触部被所述止挡部从所述第二空间的靠近所述第一空间的一侧推向所述第二空间的远离所述第一空间的另一侧，从而与设置于所述第一空间内的所述电源连接块分离。
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