中国科学院上海微系统与信息技术研究所许鹏程获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利一种热导式气体传感器及其制备方法和测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120195238B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510349504.2，技术领域涉及：G01N27/18；该发明授权一种热导式气体传感器及其制备方法和测试方法是由许鹏程;李昕欣;陈滢;程龙;王家畴设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种热导式气体传感器及其制备方法和测试方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种热导式气体传感器及其制备方法、测试方法，属于硅微机电技术领域，该热导式气体传感器包括衬底、支撑层、探测组件、盖板及通气口，其中，衬底的一面开设有空气凹槽，支撑层位于衬底具有空气凹槽的一面并包括悬设于空气凹槽上方的支撑悬空层，探测组件位于支撑悬空层上并包括从下自上依次设置的加热线圈、保护层及柱状鳍片，盖板位于支撑层上方，且盖板朝向支撑层的一面设置有容纳槽，探测组件位于容纳槽的开口区域内，容纳槽的槽底设有导气口，通气口位于加热线圈的两侧并贯穿保护层及支撑悬空层。本发明的热导式气体传感器可以屏蔽气流干扰，提升响应速度，满足小型化和集成化的需求。
本发明授权一种热导式气体传感器及其制备方法和测试方法在权利要求书中公布了：1.一种热导式气体传感器，其特征在于，包括： 衬底，所述衬底的一面开设有空气凹槽； 支撑层，位于所述衬底具有所述空气凹槽的一面，所述支撑层包括悬设于所述空气凹槽上方的支撑悬空层； 探测组件，位于所述支撑悬空层上，所述探测组件包括加热线圈、保护层及柱状鳍片，所述加热线圈位于所述支撑悬空层表面，所述保护层位于所述支撑悬空层表面并覆盖所述加热线圈，所述柱状鳍片位于所述保护层上，所述柱状鳍片的顶面四周连接有散热片，且所述柱状鳍片顶面还开设有凹槽； 盖板，位于所述支撑层上方，所述盖板朝向所述支撑层的一面设置有容纳槽，所述探测组件位于所述容纳槽的开口区域内，所述容纳槽的槽底设有导气口以使所述容纳槽与外界连通； 通气口，位于所述加热线圈的两侧并贯穿所述保护层及所述支撑悬空层，用于连通所述容纳槽与所述空气凹槽。
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