浙江众凌科技有限公司常凯伦获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利一种掩膜组件及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120272853B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510757923.X，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权一种掩膜组件及其制备方法是由常凯伦;单为健;夏孝定;黄婷;蔡朝伟;张志锴设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜组件及其制备方法在说明书摘要公布了：一种掩膜组件，包括：从下而上依次排列的掩膜框架、支撑片、精密支撑片掩膜板、以及精密金属掩膜板，其中所述支撑片排列在所述掩膜框架上与所述精密金属掩膜板相交于所述精密金属掩膜板的无效掩膜区，所述精密支撑片掩膜板排列在所述掩膜框架上贯穿于所述精密金属掩膜板的有效掩膜区，其中所述精密支撑片掩膜板在所述有效掩膜区的开口大于所述精密金属掩膜板的开口，可解决目前大尺寸精密金属掩膜板因重力下垂及边缘存在褶皱的问题。
本发明授权一种掩膜组件及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种掩膜组件，其特征在于，包括：从下而上依次排列的掩膜框架、支撑片、精密支撑片掩膜板、以及精密金属掩膜板，其中所述支撑片排列在所述掩膜框架上，位于所述精密金属掩膜板的无效掩膜区，所述精密支撑片掩膜板排列在所述掩膜框架上贯穿于所述精密金属掩膜板的有效掩膜区，其中所述精密支撑片掩膜板在所述有效掩膜区的开口大于所述精密金属掩膜板的开口。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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