湖北芯陶科技有限公司陈嘉琪获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北芯陶科技有限公司申请的专利一种氧化铝静电卡盘陶瓷及其一体化烧结方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120423860B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510926170.0，技术领域涉及：C04B35/10；该发明授权一种氧化铝静电卡盘陶瓷及其一体化烧结方法是由陈嘉琪;张荦;王大祥;王俊;朱立朋;王鹏设计研发完成，并于2025-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化铝静电卡盘陶瓷及其一体化烧结方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种氧化铝静电卡盘陶瓷及其一体化的烧结方法，主要按以下温度曲线连续进行：分段升温至第一排胶温度与第二排胶温度，并设置相应的保温平台，排胶结束后，继续升温至烧结段，设置第三保温平台，分阶段经第四保温平台后降至室温；一体化烧结过程在氮气与氢气的混合气体氛围下进行，防止电极氧化。本发明提供的排胶、烧结一体化的烧结方法制备得到的氧化铝静电卡盘陶瓷，具有合适的晶粒尺寸与致密度，微观裂纹少，残留热应力低，具有优异的维氏硬度、抗压强度及三点抗弯强度等力学性能。
本发明授权一种氧化铝静电卡盘陶瓷及其一体化烧结方法在权利要求书中公布了：1.一种氧化铝静电卡盘陶瓷，其特征在于，晶粒尺寸为2～5μm；由以下方法制备得到：将氧化铝静电卡盘生坯置于气氛烧结炉中，按以下温度曲线连续进行： S1.排胶段：缓慢升温至第一排胶温度100～300℃，在最高温处设置第一保温平台，保温结束后继续升温至第二排胶温度300～600℃，在最高温处设置第二保温平台； S2.烧结段：排胶保温完成后快速升温至烧结温度1500～1600℃，在最高温处保温设置第三保温平台； S3.降温段：烧结保温完成后开始降温，降至1100-1300℃时，设置第四保温平台，保温结束后继续缓慢降至室温； 全程需通入氮气与氢气的混合气体，其中排胶段氢气占比为2％～8％，降温段氢气占比大于50％；排胶段与烧结段的混合气体需加湿，加湿温度分别为25～50℃与15～35℃，降温段混合气体不加湿。
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