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龙图腾网获悉晟盈半导体设备(江苏)有限公司申请的专利基于溢流和气流吹扫协作液膜沉降的晶圆表面清洁方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120473387B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510954187.7，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权基于溢流和气流吹扫协作液膜沉降的晶圆表面清洁方法是由徐传勇;孙文杰设计研发完成，并于2025-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于溢流和气流吹扫协作液膜沉降的晶圆表面清洁方法在说明书摘要公布了：本发明公开了基于溢流和气流吹扫协作液膜沉降的晶圆表面清洁工艺，其包括浸泡步骤和干燥步骤。本发明一方面基于溢流座的沉降，保持气流喷嘴与清洁液面的高度始终一致不变的将清洁液溢流排出，再由第一、二气流同时吹扫和协作以使得交界部的液位面与晶圆表面保持垂直且形成全覆盖和不受液位波动影响的液膜，减小液面形成的张力，降低液面沿着晶圆表面爬升的发生率，同时配合气流所形成覆盖，以实现晶圆表面无缺陷的无痕干燥；另一方面所采用的溢流方式，配合表面液膜形成的阻碍，不仅摒弃常规的利用水的重力作为驱动来控制水面下降，而且溢流面与清洁液面保持相同落差，消除水位差变化所造成的液面波动。

本发明授权基于溢流和气流吹扫协作液膜沉降的晶圆表面清洁方法在权利要求书中公布了：1.一种基于溢流和气流吹扫协作液膜沉降的晶圆表面清洁方法，其包括浸泡步骤和干燥步骤，其中浸泡步骤将装载有晶圆的载具浸没于含有清洁液的清洁槽中，其特征在于，干燥步骤包括： S1、液位下降 由活动安装于清洁槽内的溢流座的下行伸入清洁液中，当溢流口和清洁液液面形成液位落差时，清洁液向溢流座内流淌，且基于溢流座将清洁液排出清洁槽； S2、液膜的成型 随着溢流座的沉降,晶圆表面逐渐外露于液位面上方并与液位面之间形成交界部和外露部，同时基于固定安装在溢流座上方的气流喷嘴工作，该气流喷嘴喷出的气流包括自上而下斜吹至交界部的第一气流、位于第一气流上方且吹向外露部的第二气流，其中气流由液体气化而成且易挥发，第一、二气流同时吹扫和协作以使得交界部的液位面与晶圆表面保持垂直，且自交界部向溢流口形成整体覆盖的液膜层，自交界部向溢流口形成液膜层厚度逐渐变小； S3、无痕干燥 随着外露部的区域逐渐增大，在液膜层持续辅助下，第二气流覆盖整个外露部形成风干，且晶圆表面的气体挥发带走表面残余水珠实现无痕干燥。

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